中古 KLA / TENCOR / ICOS CI-T130 #293639085 を販売中

KLA/TENCOR/ICOS CI-T130は、チップおよびマスク製造において比類のない精度、速度、画質を提供するように設計された高度なマスク&ウェーハ検査装置です。このシステムは、光学技術とイメージング技術のユニークな組み合わせを利用して、比類のないレベルの精度を提供し、0。003ミクロンまでの特長サイズを検査します。KLA CI-T130は、化学機械式ポリッシャー（CMP）と化学蒸着（CVD）システムの両方と完全に統合されており、ウェーハとマスクの表面プロファイルと欠陥のない地形を自動的に測定することで、一貫した結果を保証します。また、強力なビジョンアルゴリズムを使用して、重要な欠陥や潜在的な歩留まり損失を検出します。このマシンはまた、デュアルビームオプティクスで真の高解像度イメージングを提供します。1つ目のビームは明るい視野のOptiScanパターンで、100％検査のためのフルイメージデータをキャプチャし、最大解像度は300 mm/ピクセルです。2つ目のビームはLED ダークフィールドOptiScanで、30mm/ピクセル解像度の高解像度イメージングを提供します。これは、より明るい光学系では検出できないサブピクセル欠陥や粒状トポグラフィー機能を検出するために使用されます。ICOS CI-T130は、強力なパターン認識ソフトウェアを備えた最先端の画像処理エンジンを使用して、透明度を高め、誤検出を低減します。また、レイヤーバイレイヤーウェーハ検査も提供しており、ユーザーは微細な特徴や欠陥を迅速かつ正確に特定して診断することができます。マスクおよびウエハ検査以外に、CI-T130の機能には、統合計測、サンプル優先順位付け、欠陥分類も含まれます。また、SPCデータロギングアセットが内蔵されており、ユーザーは入出力メトリックを追跡でき、生産ラインの全体的なパフォーマンスを一目で確認できます。全体として、TENCOR CI-T130は、最高品質の集積回路とマスクを製造するための比類のない検査、イメージング、計測機能を提供します。業界をリードする精度、速度、画質により、ユーザーはKLA/TENCOR/ICOS CI-T130を信頼して、潜在的な歩留まり損失を迅速かつ正確に検出および解決できます。