中古 KLA / TENCOR / ICOS CI-T130 #293596031 を販売中
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KLA/TENCOR/ICOS CI-T130は、半導体デバイス製造に使用されるマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、ウェーハの歩留まりや信頼性に影響を与える可能性のある表面欠陥、欠陥、その他の欠陥について、半導体ウェーハおよびマスクを検査する信頼性の高い手段を提供します。KLA CI-T130は、シリアルデュアルビーム光学イメージングユニットを使用しています。この技術の組み合わせは、優れた解像度と再現性を提供し、半導体マスクとウェーハが均一な外観と構造の完全性を確保します。このツールには、自動焦点、絞り、フィールド歪み補正、ステレオイメージング、自動欠陥検出などのさまざまな技術が組み込まれており、欠陥のないウェハーやマスクを確保しています。ICOS CI-T130によって提供されるその他の機能には、ウェーハ全体を検査するための調整可能なスキャン範囲、低消費電力モードで検査するための低電流ローノイズモード、自動センタリングおよびステッチフレーム用のインテリジェントカメラ資産、仕様外の実行のためのリモートアラームモデル、スキャン、統計、およびマスクを格納するためのコンピュータ化された機器が含まれます。CI-T130は、最大4インチのサイズのウェーハとマスクを検査するためにテストおよび検証されており、より小さなウェーハとマスクの解像度と信頼性が向上しています。独自の設計と機能により、半導体ウェーハとマスクを高速かつ信頼性の高い検査手段を提供し、毎回高品質の製品を保証します。システムは完全に自動化されているため、ウェーハやマスクを検査するためにオペレータの介入や調整は必要ありません。TENCOR CI-T130は、時間とコストを節約しながら歩留まりを改善し、生産需要に対応する効率的な方法を提供するように設計されています。
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