中古 KLA / TENCOR / ICOS CI-T120 #293758434 を販売中

KLA/TENCOR/ICOS CI-T120は、先進的な検査技術を組み合わせ、業界をリードするイメージング機能を提供するマスク&ウェハ検査装置です。Digital Metrology技術を使用して、フォトマスク、レチクル、ウェハレベルのパターンの詳細な画像をキャプチャします。これにより、個々のチップやグローバルレベルでこれらのデバイスを正確に測定および検査できます。電子ビーム技術を用いてパターンや欠陥などの情報を収集・保存する「マスク・フォト欠陥取得機（FPDS）」を搭載しています。このツールには、独自のパターン認識ソフトウェアと自動化された分析ソフトウェアも含まれており、資産が欠陥と特徴を正確に識別、測定、分類することができます。KLA CI T120検査モデルは、4番目の画像取得ステージを追加し、各パターン内の高密度特性と詳細を効率的かつ正確に検査することができます。また、パターン認識、測定、分類プロセスを自動化するための強化されたパターン識別装置（PIS）も備えています。ICOS CI T 120システムは、より大きな視野（FOV）を持つ複数のウエハサイズにも対応しているため、プロセスのスループットが向上し、分析が高速化されます。ICOS CI-T120は、ウェハマップ、パーティクルまたは欠陥キャプチャ、自動欠陥修正など、さまざまな高度な機能を提供します。また、高速データ処理機能も備えており、重要な時間に敏感な操作をサポートします。最後に、ISS （Integrated Saturation Scanning）機能により、高いパターン密度の領域が適切に検査およびチェックされます。ICOS CI T120は、高度なイメージング技術を活用し、優れた精度と性能を提供する高度で安全で強力なマスク&ウェーハ検査ユニットです。高精度な検査を必要とするあらゆる産業用途での使用に最適です。