中古 KLA / TENCOR / ICOS CI 9450 #9312490 を販売中

KLA/TENCOR/ICOS CI 9450は、フォトマスクとウェーハの品質保証のために設計された視力検査装置です。フォトマスクやプリントされたウェーハの表面の欠陥を検出するために使用されます。検査には、複数の照明源と同じ標本の複数のビューを使用します。高解像度カメラは標本の画像をキャプチャし、強力なソフトウェアアルゴリズムは画像を分析して欠陥を検出します。KLA CI 9450は、CBO （Calibrated Binary Optics）技術を使用して、正確で再現可能な欠陥検出を保証します。この技術により、高精度で欠陥を特定、数え、分類することができます。さらに、粒子とパターン関連の欠陥を区別することができます。ICOS CI-9450は、Critical Dimension Scanning Electron Microscopy （CD-SEM）およびMask Metrologyシステムの現在および将来の要件を満たすように設計されています。特許取得済みの技術により、0。6ミクロンの欠陥を検出することができます。ピクセルベースのパターン認識、コントラスト測定、ダイナミックレンジ解析、エッジ検出アルゴリズムを組み合わせてフォルト検出を行います。また、高速スループットで誤報のない検査環境を提供します。1時間あたり最大200個、1時間あたり最大5000平方インチのフォトマスクを検査できます。このユニットの小型フットプリントにより、自動検査のための生産ラインに組み込むことができます。KLA CI-9450は、優れた精度と精度で信頼性の高い検査機を必要とする生産ラインに理想的なオプションです。その高度な技術と機能により、半導体およびフォトリソグラフィ業界の品質保証作業に最適です。