中古 KLA / TENCOR / ICOS CI 9450 #293614776 を販売中
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KLA/TENCOR/ICOS CI 9450マスク&ウェーハ検査装置は、半導体技術で使用されるマスク、レチクル、ウェーハの検査用に設計された高度で高精度な自動システムです。光学検査、画像解析、自動欠陥評価など、いくつかの技術を組み合わせて、検査されたすべてのマスクまたはウェーハが最高品質の基準を満たしていることを確認します。KLA CI 9450の内蔵光学ユニットには、高倍率目標、低倍率目標、ズームレンズが含まれており、最適な画像解像度と精度を提供するために選択的に展開できます。干渉ステージは、時間の経過とともに高い精度と再現性を維持するのに役立ちます。また、ブロードバンドLED光源やリングLED照明を含む複数の照明器具を装備することで、欠陥分解能の最適な画質とコントラストを確保することができます。画像解析は、マスクおよびウェーハ検査を最適化するように設計されたカスタムツールとアルゴリズムに基づいており、さまざまな種類の欠陥の分類をサポートしています。自動欠陥評価は、統合された高精度デフォーカスツールとハイブリッドデジタル/アナログデフォーカスアセットの2種類のデフォーカスシステムによって処理されます。どちらのシステムも優れた性能を発揮し、正確で再現性のある欠陥分類を保証します。このモデルはまた、時間の経過とともに最高の信頼性と精度を保証する自動校正機能、ユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、便利なタスクオートメーションなど、いくつかの機能を備えています。さらに、ICOS CI-9450は既存の生産および検査システムとの容易な統合を提供し、合理化された操作、改善されたサイクル時間および最大効率を提供します。要するに、TENCOR CI 9450は、半導体業界で最高の品質と信頼性の基準を確保するのに役立つ高度なマスクおよびウェハ検査装置です。最先端の光学機能、画像解析機能、自動欠陥評価により、ウェーハとマスクが最高レベルの性能と信頼性を達成することができます。
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