中古 KLA / TENCOR FRJ CHANGER ASSY #9292415 を販売中

KLA/TENCOR FRJ CHANGER ASSYは、非常に複雑な集積回路の効率的な生産のための最も要求の厳しい要件を満たすように設計された完全に自動化されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、モジュラー式のデュアルアームロボットハンドリングユニットを中心に構築されており、複数のワークフロー（一度に1つのジョブのみ）と1つのロボット制御カセットチェンジャーを使用して、プロセスモジュール間のマスクとウェーハをロード、アンロード、および変更できます。これにより、密集したワークショップでも、遅延や高スループットを最小限に抑えます。ロボットが使用するチャックは、マスクやウエハーの簡単で高速な積み降ろし用に設計されています。また、マスクウェハクロスリファレンス、アライメント、検査のための詳細なユーザーインターフェイスも備えています。直感的なツールインターフェイスは、タスクをオペレータに直感的にナビゲートするように設計されています。また、資産全体のレイアウト、使用される機器およびプロセス、および品質保証レポートの詳細な画像も提供します。このモデルはまた、統合された視覚機器を備えており、迅速で正確なオンザフライ測定とマスクとウェーハの検査を提供します。これは、プロセスリスクを低減し、プロセスの歩留まりを向上させるのに役立ちます。基盤となるプロセスオートメーションアーキテクチャは、最も厳しい生産要件に最適化されており、露出、アライメント、分類などの高精度で高度に自動化された重要なプロセス機能を可能にします。このシステムは、KLA独自のトランスファーカーコンセプトによるウェーハ転送などのクリーンルーム固有の機能もサポートし、プロセスの汚染を低減します。TENCOR FRJユニットはまた、高精度で再現性のあるプロセス制御測定を可能にする統合された計測機能を提供します。これにより、リスクを低減し、歩留まりを改善するために、プロセスパラメータを迅速かつ正確に微調整することができます。この機械は信頼性が高く、メンテナンスが容易で、オペレータがマスクやウェーハを検査する安全で効率的な方法を提供します。KLA FRJ CHANGER ASSYは、正確かつ一貫した操作と組み合わせることで、マスクやウェーハの連続フロー生産に最適なソリューションです。