中古 KLA / TENCOR Ex20XP #9200289 を販売中
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ID: 9200289
ヴィンテージ: 2002
Wafer inspection system
Front end includes:
BROOKS AUTOMATION:
702-0001-01 ATR8 Robot (KLA P/N: 750-614718-000)
002-9400-04 Series 8 controller
002-7391-08 Pre-aligner (KLA P/N: 750-614710-000)
002-7800-05 200mm Load port (KLA P/N: 750-614043-000)
002-7200-14 300mm Load port (KLA P/N: 750-614044-000)
Console station:
Sun microsystems control computer (KLA 740-616732-001)
Motorola MVME 2400 PCB (KLA 740-614883-000)
MVC Sierra PCB
KLA 710-614256-002
KLA 710-611867-002
KLA 710-609995-003
(2) KLA 710-610391-000
KLA 710-610522-000
KLA 710-604769-003
KLA 710-604769-001
KLA 710-612545-004
KLA 710-607901-002
KLA 710-603180-003
KLA 710-609086-002
KLA 710-610801-001
Main body:
VARIAN Turbo-V 550 turbo pump & controller
BROOKS AUTOMATION 003-1600-18 magnatran 7 robot
Liebert datawave 1 power line conditioner
2002 vintage.
KLA/TENCOR Ex20XPは、マスクおよびウェーハ製品の検査およびレビュー機能を備えた、優れた精度と再現性を備えたマスクおよびウェーハ検査装置です。この高度なシステムは、電子回路の製造に使用されるウェハマスクや基板などのマイクロエレクトロニクス部品の品質と性能を確保するために使用されます。このユニットは、高解像度イメージングと完全なオートメーション機能のための統合カメラを含むコンパクトなデザインを備えています。KLA Ex20XPは、特許取得済みのMultiSense技術と組み合わせたデュアル入射光学設計を使用しており、幅広い照明モード、コントラストオプション、マルチレベルズームを可能にし、高い精度と再現性を保証します。また、1ナノメートルまでの精度で欠陥を検出、分類、測定することができる高度な欠陥検出機能を備えています。このツールは、アプリケーション固有の統合冷却資産、モジュール設計、および強化された検査柔軟性を備え、高い信頼性を備えています。堅牢な温度制御と大規模なストレージにより、ルーチンジョブを比較的簡単に実行できます。さらに、TENCOR Ex20XPは、物理的なテスト手順をシミュレートしようとする欠陥を分析するための高度な分析ツールと、複数の生産領域にわたって最適化されたワークフローを提供します。完全に統合されたオートメーションモデルであるSenseProは、Ex20XPの統合ソフトウェアです。この洗練されたソフトウェア機器には、測定プロセスを合理化し、インテリジェントな計算と検査のすべての側面の自動化を可能にし、測定を保存およびカタログ化する効率的な方法を提供する処理およびアーカイブエンジンが含まれています。また、トレーサビリティ、半導体歩留まり解析、欠陥解析、オンボードキャプチャなどの高度なソフトウェアレベルの操作も可能です。全体的に、KLA/TENCOR Ex20XPは、高度で信頼性が高く、使いやすいマスクおよびウェハ検査ユニットであり、高い再現性で高精度の欠陥検出および解析を行うことができます。堅牢な設計、統合されたカメラ、高度なオートメーション機能を備えたKLA Ex20XPは、あらゆる電子生産アプリケーションに理想的なマシンです。
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