中古 KLA / TENCOR EV300 #9399037 を販売中

KLA/TENCOR EV300は、幅広い欠陥を検出、特性評価、修正するために設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高解像度の光学イメージング、プログラム可能な欠陥レビュー、欠陥回避および補正自動化技術を組み合わせ、優れたウェーハ検査性能を提供します。装置の光学イメージング技術は、0。25ミクロンの欠陥を検出することができます。この高感度イメージングマシンは、マスクとウェーハパターンの両方の検査に最適化されており、高精度な検査結果を得ることができます。このツールのプログラム可能な欠陥レビューツールは、さまざまな欠陥の自動検出と分類を可能にします。このツールは、シフト、ぼかし、ステッチ、OPC欠陥などを検出して分類するようにプログラムされています。このアセットには、検出された欠陥の検査および修正中の誤検出の数を減らすための欠陥回避技術も含まれています。KLA EV 300には、洗練された補正自動化技術も含まれています。この技術は、パターンの位置、方向転換、クリーニングなどの是正措置を自動的に実行するために使用されます。この修正プロセスは、欠陥が見逃されたり、放置されたりしないように最適化されています。このモデルはまた、機器コンポーネント間のデータ交換を容易にする安全な通信インタフェースを備えています。これにより、SEMVisionTMスイートやALINX自動欠陥レビューシステムなど、他のKLAシステムの統合が可能になります。TENCOR EV-300ユニットは、最高レベルのウェーハおよびマスク検査性能を提供するように設計されており、デバイスの欠陥がなく、生産準備ができていることを保証します。したがって、この機械は研究および工業生産環境での使用に適しています。