中古 KLA / TENCOR EV300 #9191448 を販売中
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ID: 9191448
ヴィンテージ: 2002
Defect review system
Open cassette
With GENMARK single end-effector robot
Cassette type: Dual open cassette, 8"
Camera: High & Low MAG
With EDX in box and line conditioner
With Dry pump console powered box and vac-pump included
2002 vintage.
KLA/TENCOR EV300は、高度な半導体部品の最高品質を確保するのに役立つマスクおよびウェハ検査装置です。マスクとウェーハ生産の両方の機能を測定、検証、検証する際の優れたパフォーマンスを提供します。KLA EV 300の走査型電子顕微鏡（SEM）技術は、マスク層とウェーハ層の両方で生産欠陥の発見と分離を可能にします。分解能は従来の光学イメージングシステムよりも大幅に向上しています。これにより、TENCOR EV-300は、測定精度の向上とスループットの高速化により、より大きなパターンサイズを検査できます。さらに、KLA/TENCOR EV-300独自のFocSEMアルゴリズムにより、優れた画像解像度が得られ、従来のREIシステムで検出できなかった不具合を容易に検出できます。KLA EV300ユニットは、ライン、エッジ、ビア、コンタクトパッド、ワイヤなど、マスクとウェーハ上のさまざまな機能を同時に検査することもできます。さらに、スペーサとアライメント・パー・ダイの両方をチェックする検証アルゴリズムが組み込まれています。KLA/TENCOR EV 300マシンには、KLA独自のScanTypeレイアウト測定ソリューション（STM）も含まれており、マスクとウェハ上の各パターンのピクセルレベルの精度を可能にします。さらに、EV-300のRenalogix検査スイートは、重要な欠陥の徹底的な検査/故障分析、歩留まり監視、およびツールの性能トレンドを提供します。TENCOR EV300には、さまざまな特殊ツールも含まれています。これらの専用ソフトウェアパッケージは、マスクとウェーハパターンの追加分析を提供します。TENCOR欠陥解析ソリューション（DAS）モジュールは、欠陥データを分析、分類、フィルタするための使いやすいソリューションを提供し、欠陥のサイズ、形状、位置、およびマスクとウエハの向きに関する詳細な情報を提供します。KLA/TENCOR Alignment Certification Suite （ACS）は、アライメントエラーを分析するための可視化ツールと、初期設計からサイズ、回転、位置シフトを測定する機能を提供します。EV 300は、最新のプロセス制御と品質保証に必要な高度なソフトウェアおよびハードウェア制御システムを備えています。自動ステージキャリブレーション、ウェーハサイズ検出、ウェーハ選択性、パターン検出、フォワード/リバース/反射パターンステッチ、自動欠陥解析およびレポート、および高度な検査アルゴリズムおよびソフトウェアなどの制御機能の強力な組み合わせが含まれています。これらのすべての機能により、TENCOR EV 300は強力で効果的なマスクおよびウェーハ検査アセットとなります。EV300は非常に自動化され、使いやすいです、従ってそれは既存の工程にすぐに統合することができます。また、高度に構成可能な機能セットの結果として、新しいプロセスの課題に対処することもできます。このモデルでは、ユーザーは自分の製品が最も厳しい品質基準を満たしていることを確認することができます。
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