中古 KLA / TENCOR EV300 #9088175 を販売中

KLA/TENCOR EV300は、金属化の欠陥を特定するために設計された高精度マスクおよびウェーハ検査装置です。明視野や暗視野などの高度な光学技術と特許取得済みのマルチアングル散乱イメージング技術を組み合わせて、重要な欠陥を検出および特性評価します。最大300mmのスキャン範囲で、KLA EV 300は、プリメタルやフォトマスクの金属層など、幅広い欠陥タイプをキャプチャできます。このシステムは広域高解像度赤外線カメラで構成されており、ウェーハ全体の迅速かつ正確な概要を提供し、複数の光検出器が存在する欠陥の詳細な画像を提供します。その高いスキャン解像度は、10µmまで、エッチングや酸化物の層からの粒子などの微粒子を検出するだけでなく、異なるサイズと形状の粒子を効果的に区別することができます。5Hzまで達することができる単位のスキャン速度は速いプロセス時間を保障します。TENCOR EV-300は、コンタクトパッド、ビア、ラインの形状、サイズ、位置、およびパッドのコーナーとエッジの欠陥をチェックするために使用できます。また、過剰な酸化、汚染、および堆積物の傷や地形の変化を識別するためにも使用できます。このマシンには複数の統合された自動画像解析機能があり、手動検査と解釈の必要性を大幅に低減します。TENCOR EV300には直感的なユーザーインターフェイスが付属しているため、操作が簡単でユーザーフレンドリーです。これは、すべての主要なファブプロセスと互換性があり、簡単な統合と高速起動を可能にします。このツールは、プロセスの前後分析とレポート作成のための幅広いITツールもサポートしています。最先端の技術を使用することにより、TENCOR EV 300は、高度なリソグラフィの成功に不可欠な、化学的にマークされた粒子を迅速に識別して特定するのに役立ちます。全体として、KLA/TENCOR EV 300は、欠陥解析の方法に革命をもたらす高度なマスクおよびウェーハ検査アセットです。高解像度の自動画像解析機能とユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えたKLA EV300は、金属化の重要な欠陥を特定するのに最適です。