中古 KLA / TENCOR eS805 #293641968 を販売中

KLA/TENCOR eS805 Mask and Wafer Inspection Systemは、現在の半導体生産ラインで欠陥、プロセス、および計測マスクおよびウェハ検査に優れた性能と信頼性を提供します。KLA eS805は、高度なプロセスノードの厳しい要件を満たすために不可欠な開発、特性評価、デバッグ、および生産管理を可能にします。TENCOR eS805は、SEMイメージングなどの高度なインラインプロセス制御技術と優れた多変量解析機能を組み合わせて、お客様が独自のレシピを開発したり、工場で提供されたレシピを活用してデバイスを正しく検査することができます。効率的なエンジン最適化と調整可能なパラメータを備えたQuantum Algorithm Processor （QAP）を使用して、システムは幅広いプロセス制御の課題に対処できます。柔軟な構成のために設計されたeS805は、より高い生産性のためのウェーハサイズの選択、より良い画質のための高解像度SEM （HR-SEM）、および余分な範囲のための高出力レーザーなど、いくつかのフィールド・アップグレード可能なオプションを備えています。KLA/TENCOR eS805は、マルチゾーン投影目的（MZPO）を含む複数の周辺機器をサポートしており、さまざまなロット間の均一性を向上させます。また、KLA eS805は豊富なソフトウェアユーティリティを提供しており、顧客は歩留まりを簡単に監視し、製品のトレーサビリティを確立し、プロセスの問題を迅速に特定することができます。Traceability Enhancement Tool （TET）を使用すると、複数のウェハ、ソース、およびロットにわたる粒子の進化を監視できます。人間工学に基づいた高度なMOTIF™ユーザーインターフェイスは、オンデマンドビュー、統計、ディスプレイなどの検査結果を処理および提示するための高度なアルゴリズムを備えています。また、オフラインのレビューと分析機能も備えています。TENCOR eS805は、検査タスクの広い範囲を満たすように設計されており、より高いプロセス制御性能とデータスループットを同時に提供します。高解像度イメージング、高度な光学システム、高度な画像処理および計測ツールを備えたeS805は、さまざまなウェーハおよびマスク検査アプリケーションに最適です。