中古 KLA / TENCOR ES35D #9236716 を販売中

KLA / TENCOR ES35D
ID: 9236716
E-Beam inspection system.
KLA/TENCOR ES35Dマスク&ウェーハ検査装置は、半導体業界の厳しいプロセス制御要件に対応するために、高度で自動化された光学検査技術を提供します。高度な検査技術を駆使し、ウェーハやマスクの多種多様な欠陥を検知する自動検査システムです。KLA ES35Dユニットは、高度で自動化された複数の光検査技術を活用し、卓越した精度と速度を実現しています。これらの技術には、自動フォーカスおよびイメージングプロセスと高度な欠陥分類アルゴリズムが含まれます。このマシンは、カスタムデザインの光学システムと専門ソフトウェアを使用して、効率的で正確な欠陥の識別と分析を行います。TENCOR ES35Dツールは、粒子に関連する欠陥、表面欠陥、およびボイドを含むがこれに限定されない幅広い欠陥を検出することができます。さらに、この資産は、マスクとウェーハの両方で検査を行うことができます。このモデルでは、高度なウェハマッピング装置を使用して、ウェーハ表面のエッチングレチクルを読み取り、分析し、欠陥の可能性のある場所を定義します。ES35Dマスク&ウェーハ検査システムは、検査プロセス中に優れたスループットを提供するように設計されています。高度なフォーカスとイメージングアルゴリズムを活用することにより、ユニットは最適なカバレッジのために異なる領域間を素早く移動することができます。さらに、自動化されたマシンコマンドにより、検査プロセスを完全に自動化することができ、生産性の向上とコスト削減につながります。KLA/TENCOR ES35Dツールは、簡単で直感的な操作のために設計された汎用性の高いユーザーインターフェイスを備えています。ユーザーインターフェイスは使いやすく理解しやすいように設計されており、ユーザーは資産の機能と機能に直感的にアクセスできるようになっています。さらに、モデルは動的比較機能を実行することができ、ユーザーは複数の画像セットをすばやく比較し、データの変更を決定することができます。この機能は、時間の経過とともに製品の品質の違いを簡単に検出するために使用できます。結論として、KLA ES35Dマスク&ウェーハ検査装置は、特定のマスク&ウェーハ環境に最適化された強力で信頼性の高い自動光学検査ソリューションです。高度なアルゴリズムと自動光検査技術を活用し、高度かつ効率的な欠陥検出・解析機能を提供するとともに、直感的なユーザーインターフェイスを提供し、操作を容易にします。
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