中古 KLA / TENCOR eS35 #9379821 を販売中

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ID: 9379821
ウェーハサイズ: 12"
E-Beam inspection system, 12".
KLA/TENCOR eS35は、半導体メーカーの生産プロセスを強化するために設計された包括的なマスクおよびウェーハ検査ソリューションです。KLA eS35は、最新の統合光学技術、ウェーハ解析技術、イメージング技術を活用して、マスク下の欠陥部位や高密度アレイレベルの高解像度3D画像を提供します。TENCOR ES 35は、高度なワイドフィールドイメージ取得装置と自動ウェーハトランスポートプラットフォームを備えており、単一の画像で印刷された欠陥を迅速にスキャン、検査、検出できます。システム独自のピクセルマッピングプロセスにより、1つの大きな欠陥または複数の再帰欠陥をすばやく見つけることができます。このユニットには、生産性と精度を向上させるために設計されたさまざまなソフトウェアツールが付属しています。3D eS-Scan機能により、深部サブレイヤのイメージングが可能になり、半導体製品の深部に埋め込まれた機能の表示が可能になります。このツールは、ダイツダイ故障に関連する欠陥を特定し、パターン欠陥検査の分解能を向上させることができます。また、さまざまな客観的評価基準を提供し、欠陥の検出と分類を容易にします。また、プロセスを自動化するためのオートメーションテンプレートを備えているため、複雑な構造特性を容易に検出できます。このツールはまた、ユーザーがプロセスリソースを監視し、欠陥の傾向を分析することができる統計モジュールを備えています。データ分析は、複数のデバイスからのデータの共有と比較を可能にする強力なアプリケーションライブラリを使用して実行されます。eS-Quad機能は、最も検査が困難な領域でも欠陥がないかをチェックするために、平坦で平坦でない角度ビューをユーザーに提供します。ES35は、高品質のソリューションを提供する信頼性が高く、高速で効率的なマスクおよびウェーハ検査ソリューションです。TENCOR eS35は、高度なイメージング機能と自動化を備えているため、半導体製品の欠陥の検査と検出にかかる時間を大幅に短縮できます。
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