中古 KLA / TENCOR eS32 #9412413 を販売中

KLA/TENCOR eS32は、半導体メーカー向けに設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。マスクとウェーハの電子部品を構成する複雑なパターン設計を検査することができます。このシステムは、マスクとウェーハの両方で高解像度の検査を行うことができ、解像度は0。1 um未満です。さらに、ウェーハレベルとトップレベルの両方の検査に対応し、柔軟性の高い設計となっています。マスクやウェーハを光源に露出させ、高度なイメージングツールでイメージングすることで動作します。このアセットは、0。1um未満の解像度でクライアントの設計機能を検出することができます。サイクルあたり最大16サイトのサイトレベル検査も可能です。これにより、製品を高精度で迅速に検査し、業界標準に準拠することができます。さらに、このモデルは高度なカスタマイズでユーザーフレンドリーに設計されています。プロセスは露出前の検査から始まります。このステップの間に、イメージ投射装置の変数は望ましいプロダクトに従って置かれます。これには、画像解像度、画像登録、コントラスト、その他のパラメータの調整が含まれます。露出前検査が完了すると、マスクまたはウェーハが検査光源と撮影した画像にさらされます。このシステムは、製品の設計機能と期待される設計機能を比較するために、特殊なアルゴリズムを使用します。検出された矛盾はユーザーに強調表示され、迅速かつ効率的な検査が可能です。最後に、このユニットは、ユーザーが検出された問題または不一致の詳細な内訳を表示することができる露出後の分析を提供します。また、検査進捗状況の総合的なデータログを収集します。これには、欠陥の数やその場所などの情報が含まれます。これらの機能は、簡単なトレーサビリティと検査の完全な記録を提供します。KLA eS32マスクおよびウェハ検査ツールは、高解像度のイメージング、高速検査時間、カスタマイズ可能な機能を提供するユニークなソリューションです。この資産により、メーカーは製品を迅速かつ正確に検査し、業界標準に準拠した状態に保つことができます。