中古 KLA / TENCOR eS32 #9398361 を販売中

KLA/TENCOR eS32は、半導体マスクやウェーハの検査に使用される自動光検査装置です。10ミクロンの画像解像度が可能で、臨界寸法（CD）、線幅のばらつき、ずれ、傷、ピンホール、粒子、汚れ、その他のプロセス誘発欠陥など、さまざまな欠陥を検出できます。KLA eS32はブライトフィールドとダークフィールドの両方のイメージングをサポートしており、透明面と不透明面の両方で最小の欠陥を検出できます。TENCOR ES 32の高解像度カメラには、5メガピクセルセンサーと16mmツインレンズ設計が搭載されており、幅広い基板上の微細な特徴を最大限に正確に検出できます。このカメラは、毎秒100フレームまでの速度で画像をキャプチャすることができ、超短パルスレーザーでウェーハを露光してブラーを大幅に低減します。さらに、KLA ES 32の複数の検査モード（ブライトフィールド、ダークフィールド、複合ブライトフィールドダークフィールドなど）は、ユーザーに包括的な欠陥カバレッジを提供します。KLA/TENCOR ES 32は、強力なイメージング機能に加えて、高度なインテリジェンス機能も備えています。これらには、欠陥検出精度を最適化するための画像解析アルゴリズムと、自動で信頼性の高い画像フォーカスを実現する独自のAuto Defocus Correctionシステムが組み込まれています。このユニットのユーザーインターフェイスは直感的でユーザーフレンドリーで、画像の簡単な検査と迅速なデータ分析を可能にするタッチセンシティブモニターを備えています。ES32はモジュラープラットフォーム上に構築されており、ユーザーは特定の半導体検査ニーズに合わせてマシンをカスタマイズすることができます。その高精度で薄型のビジョンシステムは、高速検査とスキャンと測定の両方のタスクを実行することができます。さらに、このツールの高度なアルゴリズムとタイトな公差により、目視検出が改善され、ダウンタイムが短縮され、安定した信頼性の高い検査体験が得られます。全体として、TENCOR eS32は、高度なイメージング技術、インテリジェントな機能、カスタマイズ可能なモジュラープラットフォームにより、半導体マスクおよびウェーハの優れた自動光検査資産です。迅速かつ信頼性の高い欠陥検出を可能にし、歩留まりと製品品質を最大化するように設計されています。