中古 KLA / TENCOR eS32 #9387246 を販売中
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ID: 9387246
ヴィンテージ: 2006
Electron-Beam Defect Inspection (EBI) system
Scan boards missing
2006 vintage.
KLA/TENCOR eS32は、高解像度の高速検査システムを使用して、サンプルごとに使用される単位のスループットと時間を最大化する、高度で技術的に高度なマスクおよびウェーハ検査（MWI）装置です。このマシンは、自動5軸リニアモーターイメージング機能を備えており、サンプルの読み込みと最適化を自動化し、すべてのサンプルを効率的かつ正確に検査することができます。自動化されたサンプル制御により、サンプルの読み込みが誤ったり、誤ったりすることがなく、ヒューマンエラーがなくなり、高品質の検査手順が得られます。KLA eS32は、強力なリアルタイム解析や検出された欠陥のアルゴリズムベースの専門的な識別など、高度な処理能力を備えており、これを使用して半導体デバイスおよびその特徴の表面および地下欠陥を検出することができます。MWIツールには、検査対象のサンプルに関するより詳細な情報を明らかにするように設計されたフルフィールドイルミネーションアセットも装備されています。統合された照明モデルは、自動化されたプロセス段階で動作し、さまざまなデバイス基板にわたって一貫したレベルの精度を提供します。また、ウエハ全体を高速で撮影できるため、時間と労力を節約しながら、欠陥のレビューや解析に超高解像度のデジタルイメージを提供します。また、先進的なデータ解析技術を搭載しており、これまで見過ごされていなかった機能の識別と一貫した欠陥認識と分類が可能です。TENCOR ES 32の優れたイメージング機能と高度なデータ分析は、マスクとウェーハの検査を正確かつ正確に行うための重要なコンポーネントです。自動化されたサンプルローディング、超高解像度のイメージング、高度なデータ分析を組み合わせることで、お客様のスループットと優れた結果を最大限に引き出すことができます。これは、超高解像度イメージングテクノロジーやインテグラルライティングユニットなどのハイエンド部品と組み合わされ、MWIの業界リーダーの最前線に位置しています。
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