中古 KLA / TENCOR eS32 #9282549 を販売中

KLA/TENCOR eS32は、ディープサブミクロン分解能測定用に設計された、正確なパターン特性評価を可能にするマスク&ウエハ検査装置です。KLA eS32は、高度な解析アルゴリズムとフットプリントベースの光学系の独自の組み合わせにより、アーティファクトを最小レベルまでキャプチャすることができます。TENCOR ES 32は、複数のイメージングオプションを備えた3Dイメージングシステムを提供します。4チャンネルのTENCOR eS32 Cameraと5チャンネルのeS32-T Cameraの2つのカメラが装備されています。KLA ES 32カメラは、最大画素解像度1024 x 1024の画像をキャプチャし、ES 32-Tは最大画素解像度2048 x 2048の画像をキャプチャします。マスク検査、ウエハ検査、オーバーレイ検査など、さまざまなパターニング用途にご活用いただけます。KLA/TENCOR ES 32は、深いサブミクロンパターン分解能を可能にし、0。5 μ mまでの粒子を検出できる高度なイメージング技術を使用しています。この強烈なパターン解析は、KLA/TENCOR eS32独自のソフトウェアを使用しており、高度なアルゴリズムを使用して高解像度の解析を提供しています。さらに、KLA eS32は、レチクル、マスク、およびウェーハのオーバーレイ測定を卓越した精度で行うことができるオーバーレイマシンを内蔵しています。TENCOR ES 32には、表面検査ツールTENCOR eS32-SEが内蔵されています。ES32-SEは完全に統合されたレンズベースの資産であり、暗いフィールドや明るいフィールド画像など、さまざまな照明源を組み込んでいます。このモデルは、ウェーハやマスク表面の欠陥粒子、傷、ほこり、その他の汚染物質を検出するために使用できます。KLA ES 32は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと堅牢なソフトウェアプラットフォームを備えています。これにより、ユーザーは機器を独自のアプリケーション要件に迅速かつ簡単にカスタマイズできます。さらに、このシステムは手動で介入する必要なく、さまざまなウェーハサイズに自動的に調整することができます。ES 32は、今日の高度な技術の超微細パターニングアプリケーションに最適なツールです。KLA/TENCOR ES 32は、優れたイメージング機能、自動化されたアライメントユニット、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備え、ディープサブ顕微鏡機能の特性評価のための効率的なマスクおよびウェーハ検査ソリューションです。