中古 KLA / TENCOR eS32 #9257407 を販売中

KLA / TENCOR eS32
ID: 9257407
Electron-Beam Defect Inspection (EBI) systems.
KLA/TENCOR eS32は、複数の高度な技術を使用して欠陥検出能力と歩留まりを最大化するマスク&ウェハ検査装置です。KLA eS32は、マスクとウェーハ表面の高解像度画像を提供するマルチスペクトルシーケンシャルイルミネーションを備えています。これにより、複雑なマスクの設計、重大な欠陥、およびわいせつの正確な検査が可能になります。このシステムには複数のイメージングセンサーが搭載されており、欠陥を最小限に抑え、誤った拒絶反応を最小限に抑え、ワークフローを最適化することができます。TENCOR ES 32は、汎用性と使いやすいソフトウェアユーザーインターフェイスを採用しています。これには、検査結果をグラフィカルでユーザーフレンドリーな方法で表示する直感的なLEDモニターが含まれています。KLA/TENCOR ES 32にはAnalytical Inspection Moduleが付属しており、欠陥データを迅速に分析し、改善領域を特定できます。さらに、検査速度、再現性、ジョブ管理の面でもメリットがあります。KLA ES 32は133MHZ 32ビットRISC CPUをベースにしており、一連のFPGAデバイスを介して処理を最適化しています。また、動的検証、統計的迅速停止、結果分析などの機能も搭載しており、マスクやウェーハの精密な検査を確実に行うことができます。また、遠隔操作eS32可能なプログラム可能な操作ユニットと検出器を搭載し、最適な制御と精度を確保しています。TENCOR eS32は、マスクやウェーハの大規模な生産に最適化された強力で信頼性の高い検査ツールです。この最先端の資産は、最も複雑で繊細なデザインを検証するための最適な結果を提供します。このモデルの高度な機能とユーザーフレンドリーなインターフェイスは、検査プロセスを改善するための非常に熟練した機器になります。ES 32は、強力な機能とカスタマイズ可能なオプションにより、企業のコスト削減と、すべてのマスクおよびウェーハアプリケーションの歩留まり向上を支援します。
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