中古 KLA / TENCOR eS32 #9255738 を販売中

KLA/TENCOR eS32は、生産ラインで使用されるさまざまなマスクやウェーハの粒子や欠陥検査を検出できる、高度でコスト効率の高いマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高解像度の光学イメージングを使用して、ウェーハ製造に使用されるナノおよびマイクロサイズのコンポーネントの鮮明な画像を生成します。独自のサイドウォールイメージング機能により、角度欠陥検出などの検査結果の精度と速度も向上します。特許取得済みのDark Field Bright FieldとOmniBeamTM技術により、KLA eS32の仕様をさらに拡大し、粒子を0。2 µmまで検出できます。レジスト残留物、金属化、ヘイズ、Eビーム抵抗傷など、ウェーハ上の表面粒子を検出する機能を備えています。特殊なダークフィールドブライトフィールドイメージングは、角度依存検査と角度独立検査を組み合わせて、従来のダークフィールド検査と比較してより正確な結果をもたらします。これにより、機械はワイヤブレイクや他の角度の欠陥を検出することができます。特許取得済みのOmniBeamTMおよびOblique Angle Light技術により、光強度が向上し、検査結果がさらに向上します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと直感的なソフトウェアにより、このツールはセットアップと操作が非常に簡単です。ソフトウェアは、事前に定義されたワークフローとパラメータを使用して、欠陥を自動的に検出、分析、分類し、さらなる分析と比較を可能にします。この資産は、さまざまな検査結果を保存して比較する機能を備えており、手間をかけずに完全な生産ラインを迅速かつ簡単に分析できます。TENCOR ES 32マスクおよびウェーハ検査モデルは、ナノ秒内の欠陥をグローバルに検索する機能を備えています。自動化機能により、迅速かつ正確な検査が可能になり、コスト削減と効率的な生産サイクルを実現します。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと直感的なソフトウェアインターフェイスにより、簡単なセットアップと操作が可能で、生産ラインの高速、正確、コスト削減に最適です。