中古 KLA / TENCOR eS32 #293829839 を販売中
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KLA/TENCOR eS32は、重要欠陥検出を高め、全体的な歩留まり性能を向上させたい半導体メーカー向けに設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このツールは、サブピクセル画像のアライメントと自動サンプリングと検査が可能です。KLA eS32システムは、KLA独自のInstrumentViewソフトウェアを使用して、ハードディスクドライブと薄膜ヘッドディスクメーカーが歩留まり関連の問題を特定し、軽減するのに役立ちます。このユニットにはスマートスキャンテクノロジーが含まれており、ユーザーはデータを「微調整」し、即座にパラメータを調整することができます。TENCOR ES 32マシンはまた、生成されたデータ上でアルゴリズムを実行してより詳細な分析を行うことができる強力な欠陥検出および分類機能を提供します。KLA ES 32ツールは、20x10mm範囲の視野(FOV)と最大3 µmの分解能を備えた画像分光器と顕微鏡ステージを備えています。このFOVにより、すべての印刷パターンを正確に分析することができ、潜在的な欠陥を特定し、適切な行動をとることができます。ES32には多数の自動化された機能があり、ユーザーは情報を素早くスキャン、保存、分析することができます。これらには、ウェーハのスキャンに必要な時間を短縮する自動アライメント機能とセンター検索機能が含まれます。さらに、このアセットにはコントラストと明るさの自動計算が含まれており、ウェーハの検査にかかる全体的な時間をさらに短縮します。KLA/TENCOR ES 32は、パターン解析ツールキットソフトウェアを使用して、3つの定義済みマスク、OPC分析ツールキット、高度なマスク分析(AMA)を提供して、微細粉末検出、自動粒子検査(API)、粉塵や破片の検出、色の欠陥を識別します。ES 32では、自動テスト波長の選択も可能で、より正確な解析を明らかにするために画像を微調整することができます。また、HDマップ検証、ウェハビニング、オーバーレイ解析などの強力な機能にもアクセスできます。TENCOR eS32マスク&ウエハ検査モデルは、高度なプロセス制御(APC)と歩留まり向上のための強力なツールです。これにより、潜在的な欠陥をすばやく検出して特定し、全体的な生産性と効率を向上させることができます。KLA/TENCOR eS32は、生産不良の原因を迅速、正確、効果的に診断することにより、顧客の出力の品質と信頼性を向上させ、コストを削減するように設計されています。
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