中古 KLA / TENCOR eS32 #293665956 を販売中

KLA/TENCOR eS32は、さまざまなアプリケーションタイプの欠陥検出および診断を行うことができるマスクおよびウェハ検査装置です。最先端の光学リソグラフィ技術とイメージング技術を組み合わせて、閉じ込められた粒子や汚染などの微妙なプロセス欠陥を特定します。分解能は0。5 µmで、直径200mmまでの基板加工が可能です。それはまた、効率を最大化し、欠陥を最小限に抑えるように設計された欠陥検査ソフトウェアのスイートによってサポートされています。KLA eS32は、様々な露光で検査することができ、高度なリソグラフィからフォトリソグラフィ、直接酸素プラズマのアッシング、ウェットエッチングなど、幅広い用途で欠陥を検出することができます。デュアル望遠鏡システムを搭載しており、レチキュールとウェーハの両方を効率的に1回の露出で検査することができます。9レベルの高解像度カラーイメージングユニットとクローズドループウェハムーブメントを搭載し、正確な欠陥サンプリングと正確なイメージングを実現します。このマシンにはKLA DataLinkという単一のソフトウェアプラットフォームが搭載されており、検査と診断機能を同じ境界内に統合することで、ユーザーに統一されたエクスペリエンスを提供します。DataLinkは、自動化されたジョブ設定でタッチレスなワークフローを提供することで、生産性レベルを高めるように設計されています。さらに、ハードウェアに依存しないアーキテクチャは、シームレスなホスト制御とデータ交換に最適化されています。また、TENCOR ES 32には計測機能が搭載されており、計測ハードウェアを内蔵することで幅広い測定が可能です。これには、CD-SEMとOVLオートマッチングが含まれ、データ精度が向上します。また、ベースライン校正時間を最小限に抑えるために事前校正されています。さらに、ES 32には、使いやすさのための直感的なUI、迅速なレポート作成のためのリアルタイムスタンプ、迅速なレビューのための複数ページの欠陥トランザクション、カスタマイズされたエクスペリエンスのためのオンボードのカスタマイズなど、さまざまな生産性機能が搭載されています。さらに、ユーザーは任意の適用のためのeS32の実用性をカスタマイズするために任意付属品の範囲から選ぶことができます。全体として、TENCOR eS32は、幅広いアプリケーションで高解像度の欠陥検出と診断を行うことができる強力で汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査ツールです。自動化されたジョブ設定と、効率と生産性を高めるためのさまざまな機能を備えています。KLA ES 32は、高度な技術と広範な計測機能により、欠陥の低減と最適なパフォーマンスの確保に役立ちます。