中古 KLA / TENCOR eS31 #9300221 を販売中

KLA/TENCOR eS31は、半導体集積回路（IC）などの電子デバイスのわずかな欠陥を検出するために設計された高性能の自動マスクおよびウェハ検査装置です。KLA eS31は、デジタルイメージング技術を使用して、マスクおよびウェーハ表面の画像をキャプチャおよび分析し、最小の欠陥を検出します。このシステムは、さまざまなプロセス手順で拒否された歪んだ線、粒子の汚染、または欠落したパターンを検出することができます。高度な自動画像処理アルゴリズムを使用して、画像は人間の介入なしで自動的に分析されます。分析には、テストパターンの分類、マスク/ウェハアライメント、およびすべてのマスクパターンの重要な機能の検査が含まれます。TENCOR eS31は、スレッド欠陥、不均一性、コヒーレンスおよび反転誤差、および粒子汚染を検出します。eS31のユニークな特徴は、他のシステムでは完全な検出ができない超低電圧（ULV）欠陥を検査することです。KLA/TENCOR eS31は、モニターとマウスを介して動作する、完全に統合された高速ユニットです。これは非常に高いスループットを提供し、1時間あたり最大300ウェーハの速度で動作します。また、直感的なユーザーインターフェイスと高度なメニュー駆動操作を備え、使いやすさを実現しています。KLA eS31は、幅広いパターン、ウェーハ、マスクのテストが可能です。このツールは、CCDカメラ、LED照明、カメラコントローラ、コンソールコントローラ、Robo sysコントローラ、および検査資産をウェーハ上に移動するZステージを含む最先端の検査技術を搭載しています。また、欠陥のサイズと種類を正確に検査するための高品質な後処理機能も提供しています。このモデルは、新しい要件や技術に対応するためにアップグレード可能です。全体的に、TENCOR eS31は、迅速なマスクおよびウェーハ検査に最適です。高速精密イメージングと高度な欠陥検出機能を組み合わせ、最高水準の製品を製造します。設置・操作が容易で、幅広いマスクやウエハの検査が可能です。