中古 KLA / TENCOR eS31 #9203779 を販売中

KLA/TENCOR eS31は、生産歩留まりを改善するために設計された高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。半導体業界向けの高品質の集積回路とオプトエレクトロニクスデバイスの生産を保証します。高精度で信頼性の高いイメージングおよび測定機能を提供し、迅速な品質管理と重要な生産パラメータの測定を可能にします。KLA eS31は、高度な画像処理アルゴリズムを備えたKLA CCD（充電結合デバイス）技術を、非常に正確な単一のシステムに組み込みます。ウェーハやレチクル（マスク）測定など、さまざまな検査作業を行います。カスタムイルミネーションマシン、複雑なイメージングアルゴリズム、特殊なデータ取得技術を組み込み、非常に小さな特徴とバリエーションを測定します。TENCOR eS31の独自のオートフォーカス機能は、従来の自動光検査システムよりも優れたフォーカス範囲を提供します。また、パーティクルサイズ、パーティクルタイプ、トポグラフィー、アセンブリフィーチャーなど、さまざまな表面特性の自動的かつ最適なデータ取得が可能です。ES31は、さまざまなスキャンとタスクオプションを提供しており、このツールを個別の顧客要件に合わせて設計および構成することができます。このアセットは、自動電気試験システム、自動光学プロービングおよびアライメントシステム、スタンドアロン光学システムなど、さまざまなニーズに対応するために、さまざまなアクセサリで構成することができます。KLA/TENCOR eS31は、幅広く変化するツールを提供します。さらに、このモデルはお客様の既存の生産システムとシームレスに統合され、追加のハードウェア要件を最小限に抑えます。これにより、拡張性が向上し、生産の柔軟性が向上します。機器の柔軟なソフトウェアにより、複数のデータポイントを収集できます。ソフトウェアは顧客のニーズに合わせて調整することができ、レチクル、マスク、ウェハ特性などのさまざまな欠陥の検査と分析が可能です。ソフトウェアは、システムのコンポーネントの品質と性能の詳細な分析を提供するレポートを生成するために使用することもできます。結論として、KLA eS31は生産歩留まりを改善するために設計された高性能マスクおよびウェーハ検査ユニットです。非常に精度が高く、オートフォーカスを備えており、フォーカス範囲が向上しており、複数のデータポイント選択とレポート作成オプションを備えた柔軟なソフトウェアを備えています。さらに、既存の生産システムとシームレスに統合し、拡張性の向上と生産の柔軟性の向上を実現します。