中古 KLA / TENCOR eS31 #293619038 を販売中

KLA/TENCOR eS31は、半導体業界向けに設計された自動マスクおよびウェハ検査装置です。高度な2D・3D検査技術を駆使し、高度な半導体製品の欠陥を正確に検出します。このユニットは自動ステッチを使用して金型表面の正確な地図を作成し、高度なアルゴリズムを使用して高精度で信頼性の高い欠陥を検出します。このマシンは、1時間あたり最大1,500個のウェーハを検査することができ、高スループット検査率を備えています。KLA eS31ツールは、高度な光学系、モーションコントロールシステム、画像処理アルゴリズムなど、さまざまなコンポーネントで構成されています。アセットの光学系には、電動対物レンズ、テレセントリック照明、光フィルター、偏光光源などがあります。この光学系は、従来の光学系よりも高品質で高精度な画像を生成するために使用されます。モーションコントロールモデルは、6軸で動くことができる六角形のモーションステージを備えており、装置は正確に金型表面をスキャンすることができます。このシステムで採用されている画像処理アルゴリズムは、金型表面の欠陥を検出および分類するための高度な機械学習技術を採用しています。このアルゴリズムは、空隙、粒子、骨折、地形誤差など、さまざまな欠陥を検出することができます。このユニットは、欠陥の位置とサイズを検出して、最も正確な欠陥分類を行うこともできます。さらに、分類注釈付きの画像を出力して、さらなる分析とレビューを行うことができます。TENCOR eS31は、正確で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査を実行するための高度で信頼性の高いツールです。高度な光学系、モーションコントロールシステム、画像処理アルゴリズムを活用し、高精度で信頼性の高い金型表面のさまざまな欠陥を検出します。このアセットは高いスループット率を持ち、さまざまな半導体アプリケーションでの使用に適しています。