中古 KLA / TENCOR eS31 #293610174 を販売中
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ID: 293610174
ヴィンテージ: 2005
E-Beam inspection system
Loader unit
Console unit
Noise cut AVR
(2) Dry pumps
2005 vintage.
KLA/TENCOR eS31は最高の効率および精密のために設計されている高度のマスクおよびウェーハの点検装置です。高度な高解像度光学ユニット、高度なレーザー回折技術、Advanced Motion ControlTMを使用して、最大10ミクロンの解像度で高品質の画像を提供します。KLA eS31は、最高の精度と生産性を提供するために協力するいくつかのサブシステムとコンポーネントで構成されています。トモグラフィーユニット、ウェーハ検査ステージ、顕微鏡目的、レーザー回折ツール、スライディングステージ、自動ウェーハ位置決めアセット、高精度モニターを搭載しています。トモグラフィーユニットは、振動を低減し、イメージングの安定性を高めるように設計された高度な構造を備えています。トモグラフィーユニットは、高度なレーザーイルミネータ、13インチ液晶ディスプレイ、フォーカスコントロールモデルを使用して、リニアまたは円パターンのいずれかで最大10ミクロンの鮮明で正確な画像を提供します。ウェハ検査ステージは、精密マニピュレータとスライディングステージ機器を備えた先進のデュアルアームカメラホルダーです。最小限のドリフトとストレスでウェーハの位置決めに最大限の精度を提供するように設計されており、顕微鏡の目的は超高い検査解像度でも可能な限り最高の倍率を提供します。レーザー回折システムは、ライン端の粗さなどの特殊構造物の検査において最高の精度を提供し、ライン幅0。1ミクロンで40ミクロンまで校正することができます。多軸ロボットアームの設置により、ユニットの精度と精度がさらに向上し、生産が高速化され、より信頼性の高い検査歩留まりが得られます。また、TENCOR eS31には高解像度モニターが搭載されており、最大10ミクロンの画像を正確に表示できます。これにより、オペレータは設定を正確に調整し、結果をすばやく分析することができます。ES31はマスクおよびウェーハの点検のための理想的な機械です。その包括的な機能セットは、最高の精度と検査速度を提供し、高品質の部品が迅速かつ確実に、かつ一貫して提供されることを保証します。
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