中古 KLA / TENCOR eS30 #9280537 を販売中

KLA/TENCOR eS30は、製造およびエンジニアリング/研究環境で使用されるマスクおよびウェハ検査装置です。ライン幅やエッジ配置などの重要なレイヤーパラメータを高精度に測定することができます。このシステムは、KLA独自のOpticVisionテクノロジーに基づいて構築されており、3 セグメントBDIレーザー、FocusLensを搭載したレーザースキャンヘッドアセンブリ、および超高速デジタルカメラを備えています。これらのコンポーネントの組み合わせは、今日の高度な生産および研究アプリケーションに必要な、これまでにない速度、柔軟性、精度を提供します。3 セグメントBDIレーザーは、従来のシングルレーザーシステムよりも高いスループットと優れたパフォーマンスを可能にする3つのレーザービームを使用しています。レーザーは個別にチューニング可能で、幅広い測定速度を可能にし、生産ツールとしての優れた機能を提供します。レーザースキャンヘッドアセンブリは、大口径のFocusLensを使用して、レーザービームを非常に小さな機能と非常に低い表面の不規則性で検査した機能に集中させます。これは、単一のレーザーで検査することが困難なエッジやコーナーを含むウェーハ表面の優れたカバレッジを提供します。また、KLA eS30は超高速デジタルカメラを搭載しており、非常に高速で蛍光画像をキャプチャすることができ、光学リソグラフィ用途に最適です。また、統合された高精度のステージを備えており、単一のスキャンでウェーハまたはリチクルを最初から最後まで迅速に通過できます。さらに、TENCOR eS30には自動オフライン測定機能があり、高速レチクルまたはウェーハ評価、および自動データ分析および記録に使用できます。このマシンは、測定、分析、レポート機能を備えた強力なソフトウェアスイートによってサポートされており、ユーザーはeS30から収集されたデータを使用してデータを迅速に評価し、レポートを作成し、比較マスクを作成できます。全体として、KLA/TENCOR eS30は卓越した性能と精度を提供し、幅広いウェーハおよびマスク検査ニーズに最適なソリューションです。レーザースキャンヘッドアセンブリ、超高速デジタルカメラ、自動化されたオフライン測定機能など、その機能の組み合わせは、あらゆる生産および/またはエンジニアリング/研究環境に最適です。