中古 KLA / TENCOR es20xp #188080 を販売中

KLA/TENCOR es20xpは、最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。複数種類のマスクやウエハーを検査するための各種動作モードを構成できるモジュール化システムです。高度なアルゴリズムとハードウェアを使用して高速計測検査を行い、スループットを向上させ、信頼性の高い正確な結果を提供します。このユニットは、スキャナーヘッドモジュール、光学、測定機、ソフトウェア制御ツールで構成されています。スキャナーヘッドモジュールには、角度と平面のイメージング視野を可能にする偏向の生徒またはテレセントリック光学が装備されています。光学および測定アセットは自動化され、シリアル測定を使用します。これには、マスクやウェーハの弱い信号を検査するための画像強度検出器とフォトメトリック検出器が含まれています。検査フィールドは、画像の洗浄を避けるためにストロボ照明モデルとカラーフィルターによって補完されます。ソフトウェア制御装置は、インスペクタコーディング、マルチイメージサンプリング、高速画像処理などの複数の機能をサポートしています。非同期設計で、個々の画像を並列に処理できます。高度なアルゴリズムはリアルタイムのフィードバックと欠陥検出を提供し、迅速な分類と精度の向上を可能にします。システムの強化されたダイナミックレンジにより、ウェーハやマスクの微妙な欠陥を検出できます。並列信号およびイメージプロセッサは、検査作業の高速化に役立ちます。小型スキャン時の精度と再現性を確保し、0。5ミクロンから25ミクロンまでの設計検査が可能です。KLA ES20 XPには、報告用の画像フレームをキャプチャして記録できるイベントレコードモジュールが装備されています。ユーザーフレンドリーなソフトウェアには多言語サポートがあり、マシンがさまざまなプロセスやアプリケーションに合わせてオーダーメイドできるように最適化されたアプリケーションを使用しています。TENCOR ES 20 XPは、信頼性が高く正確な結果を得るために構築されており、特定の要件や用途に合わせてカスタマイズすることができます。露光問題、リソグラフィック処理パラメータ、オーバーレイエラーなどによる欠陥の検出と分類が可能で、マスクやウェーハ検査のオールインワンツールとなっています。