中古 KLA / TENCOR eDR-5210S #9390422 を販売中

KLA/TENCOR eDR-5210Sは、最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。KLA eDR-5210Sは、マスクとウェーハの両方の製造用に設計されており、欠陥を検出するための包括的なソリューションを提供します。TENCOR eDR-5210Sは、最先端の画像技術を使用して、さまざまなフォトマスクやウェーハの微妙で複雑な欠陥を検出します。EDR-5210Sは高解像度の高精細度B&W CCDカメラを搭載し、400ミクロン以上の開口部を提供するテレセントリック光学システムを備えています。カスタム画像処理アルゴリズムと強力な埋め込みコンピュータを組み合わせることで、画像を超高速に処理できます。KLA/TENCOR eDR-5210Sの画像処理機能により、ブリッジング、クリティカル・ディメンション（CD）エラー、パターンシフト、ミスアライメントなどの複雑なパターンを識別することもできます。KLA eDR-5210Sは、既存または計画されたテストプラットフォームへの柔軟な統合のためにオープンアーキテクチャを使用して設計されています。25mmマスクと30mmマスク、各種基板を備えたウェーハとの完全互換性を有しています。TENCOR eDR-5210Sには、サードパーティ製のソフトウェアやハードウェアとインタフェースする機能もあります。最先端の微小侵食技術を駆使し、2ミクロンの分解能で微細な欠陥を検出することができます。欠陥検出に加えて、eDR-5210Sは包括的なウェハ品質評価、均一性の測定、表面粗さ、線幅、およびパターン整合性も提供します。このツールの高度なプログラミング機能には、検査スクリプトを作成および変更するための直感的なメニュー構造を持つグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と、潜在的な欠陥を迅速にアウトラインするように設計されたメニューが含まれます。アセットには、将来の使用のために画像データを保存する機能もあります。KLA/TENCOR eDR-5210Sは、マスクエッチング、X線イメージング、サーフェススキャンなど、幅広いテストプロトコルにも対応しています。KLA eDR-5210Sはマスクの製作およびウェーハの点検にとって理想的で、市場で最も洗練され、多目的な点検モデルを提供します。高度な画像処理機能、高解像度カメラ、柔軟なプログラミングにより、TENCOR eDR-5210Sはマスクとウェーハの両方の欠陥を正確かつ確実に検出できます。