中古 KLA / TENCOR eDR-5210 #9397336 を販売中

KLA/TENCOR eDR-5210マスクおよびウェーハ検査装置は、高度なフォトマスクおよびウェーハパターンの高解像度欠陥検出および詳細な分析を提供するように設計された高度な計測プラットフォームです。明るいフィールドと暗いフィールドの両方の照明で動作可能なマルチモードシステムであり、高コントラストでイメージングを可能にし、標準的な商用ダークフィールド、リングフィールド、および線形偏光モードを使用します。専用のアルゴリズム機能により、フォトマスク、レチクル、ウェーハパターンのシームレスな欠陥検出と解析が可能になります。このユニットは、0。05 µmの画像解像度と1 µmの検査ステップサイズを備えた50cmの最大フィールドサイズを備えており、市場で最も高い解像度のシステムの1つです。アクティブなオートフォーカス機能、オートステージマシン、高度な照明システム、オートマスクの取得および処理機能を備えています。さらに、このツールは、高度なCMOSイメージング検出器を誇り、より高速な動作とショットノイズ性能を保証します。KLA eDR-5210には、さまざまな種類の欠陥を検出するために画像を分析するのに役立つ強力な高度なAIベースのアルゴリズムも含まれています。さらに、このアセットは、ユーザーが欠陥データを迅速かつ簡単に視覚化および文書化できるようにする、幅広い高度な分析およびレポート作成ツールも提供しています。全体として、TENCOR EDR 5210マスクおよびウェーハ検査モデルは、フォトマスクおよびウェーハパターンを検査するための包括的なソリューションを提供します。強力なアルゴリズムと高度なイメージング解像度を組み合わせることで、欠陥検出と解析のための堅牢で信頼性の高い機器を保証します。