中古 KLA / TENCOR eDR-5210 #9112888 を販売中

KLA/TENCOR eDR-5210は、フォトマスクやウェーハの欠陥や異常を検出するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、eDR-5000スキャナ、eDR-5400ウェーハ検査ステージ、および高度なK3イメージングユニットの3つの主要コンポーネントで構成されています。eDR-5000スキャナは、マシンの心臓部であり、各欠陥をキャプチャするために必要な高解像度イメージングを提供します。高精度の光学系と高感度カメラを使用して、正と負の両方のフォトマスク上の欠陥のフルフォーカルプレーン画像をキャプチャします。スキャナは、利用可能なマスクサイズやタイプの様々なに対応するために簡単に変更されるモジュール設計を持っています。eDR-5400のウェーハ検査ステージは、スキャナが同時に複数のウェーハを処理することを可能にする自動化されたツールです。ウェーハのサイズ、タイプ、向きを認識してウェーハの積み込みを容易にするように設計されています。さらに、その高いスループットにより、すべてのウエハ上の画像を自動的にキャプチャすることが可能になり、パターン化されたウエハーとパターン化されていないウエハーの両方の完全なカバレッジが保証されます。最後に、K3イメージングアセットは、ウェーハ上の欠陥を分析し識別するモデルのコンポーネントです。この高度な画像処理装置は、粒子、ボイド、ラインのエッジと線の幅のバリエーション、欠落している機能、およびその他の不一致など、さまざまな種類の欠陥を検出するために、大規模なデータセットを迅速かつ正確に処理することができます。また、同様の機能を区別して誤認の可能性を減らすこともできます。KLA eDR-5210システムは、フォトマスクおよびウェーハ欠陥の高解像度イメージングおよび迅速な解析を提供するように設計されています。モジュラー設計と自動化されたステージにより、最大24個のウェーハを一度に素早く処理できます。この機械の高度なイメージングツールは、さまざまな種類の欠陥を正確かつ迅速に検出し、信頼性の高い結果を保証し、生産効率を向上させることができます。