中古 KLA / TENCOR eDR-5210 #293755072 を販売中

KLA/TENCOR eDR-5210は、半導体材料の表面の欠陥を検出するために設計された自動マスクおよびウェハ検査装置です。ウェーハ表面の欠陥を素早くスキャンして検出し、一貫した再現性と信頼性の高い結果を得るために設計されたアプリケーション固有のシステムです。このユニットは優れた性能を提供し、強力な検査アルゴリズムを使用して、反射率、シフト、ボイド、チップエッジの奇形、傷など、さまざまな潜在的な欠陥を検出します。このマシンは12インチプロジェクション光学ツールを使用して、検査対象材料の性質に応じて、最大4ミクロンまでの機能とさまざまなコントラストレベルの超高速ディスプレイを提供します。光源には緑色のLED （550 nm）と青色のLED （450 nm）があり、操作の柔軟性があります。アセットの目的は、あらゆる異物を特定し、ウェーハ表面の潜在的欠陥を評価することです。また、KLA eDR-5210は、20m/sの線形移動速度を持つ高速多軸モーションモデルを備えています。自動化されたアライメントオプティクスにより、裏面散乱や迷光を最小限に抑え、表面全体を正確かつ迅速に移動し、わずかな欠陥を検出できます。ウェーハ表面全体を上から下に素早くスキャンでき、正負の極性欠陥を検出することもできます。これは、後処理時間を短縮するのに役立ちます。また、高解像度エッジ検出、コントラスト強化、欠陥検出など、幅広いイメージング技術を最適化することができます。TENCOR EDR 5210は、高度なイメージング技術を通じて、資源の意思決定と利用を改善するための正確な情報を提供することができます。さらに、完全に自動化された操作により、手動検査に伴う人件費が削減されます。全体として、TENCOR eDR-5210は自動化されたアプリケーション固有のシステムであり、高いスループット、包括的な欠陥カバレッジ、一貫して信頼性の高い結果を提供することにより、半導体業界のメーカーに大きな利点を提供します。その強力な検査アルゴリズムと幅広い画像処理技術により、最高レベルの精度と性能を保証します。