中古 KLA / TENCOR eDR-5200 #293651675 を販売中

ID: 293651675
Defect review Scanning Electron Microscope (SEM).
KLA/TENCOR eDR-5200はマスクおよびウエハの点検のための強力で、洗練された機械です。この装置は、自動化されたアルゴリズムと世界トップクラスの光学技術を使用して、マスクとウェーハの両方の微細な特徴をリアルタイムで分析し、スループットを最大化しながら一貫した信頼性の高い結果を得ることができます。KLAの特許取得済みの1-2ミクロン画像処理技術は、KLA eDR-5200の中心にあり、システムがそのソフトウェアプラットフォームに高解像度の画像を収集することを可能にします。このユニットの高度な自動アルゴリズムは、ナノメートルレベルまでの欠陥を検出、識別、分析し、バイアスを排除する非侵襲的欠陥検査とレビューを可能にします。このマシンの包括的なイメージング機能は、幅広いデータポイントをカバーし、包括的な結果ライブラリとリアルタイム評価を提供します。このツールには、固有の障害を検出し、すべての潜在的な欠陥が識別されるように調整された特殊なアルゴリズムも含まれています。TENCOR eDR-5200はまた、統合されたインタラクティブなレポート資産を提供し、詳細な欠陥分析と検証を可能にします。これは、デジタルデータベースの作成、チャート作成、比較機能に加えて、自動欠陥分類で検査結果を完全に開示することによって行います。eDR-5200により、さまざまな欠陥タイプに重量を割り当て、検査モニターを指定し、プロセスのどの段階でもレビューを行うことで、検査プロセスを最適化およびカスタマイズできます。TENCORには、ユーザーが数回クリックするだけでカスタマイズされた分析レポートを作成できるユーザーフレンドリーな検証およびレポート機能も含まれています。KLA/TENCORのeDR-5200はまた手動データ記入項目のための必要性を除去する自動点検のためにプログラムすることができます。さらに、このモデルは、小さな局所化された欠陥を検出し、正確な位置を特定してさらなる診断と修復を行うこともできます。KLA eDR-5200は、マスクとウェーハの構成を幅広くサポートしており、特殊な光学系により、基板から基板までの精度と高速検査が可能です。この装置のユニークなアーキテクチャは、長期的に信頼性、正確性、再現性を保証するように設計されています。品質と顧客主導のイノベーションに対するKLA/TENCORのコミットメントは、TENCOR eDR-5200に反映され、ユーザーは検査と分析で最高レベルのパフォーマンスを享受することができます。
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