中古 KLA / TENCOR EAIM+ #9304331 を販売中

KLA/TENCOR EAIM+は、高度なフォトマスクとベアシリコンウエハをナノメートルスケールで信頼性の高い正確な検査方法を提供するマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは自動化されたフルフィールドボックスインボックスメトロジーであり、鏡面欠陥と回折面欠陥の両方を検出する簡単かつ効率的な方法を提供します。このユニットは、高度な分析アルゴリズムを介して高解像度イメージングと自動計測の組み合わせを使用して、目に隠れている可能性のある微細な欠陥を検出します。KLA EAIM+マシンは、フォトマスクとベアシリコンウエハの両方の表面にピンホール、脱落粒子、トレンチ、クロスオーバー、およびボイドなどのマイクロ欠陥を検出することができます。TENCOR EAIM+ツールは、完全に自動化されたマスク検査アセット、豊富な機能ライブラリ、柔軟な検査プラットフォーム、標準化されたワークフローで構成されています。それは容易に欠陥の範囲を検出し、定量するように設計されている高度の画像処理アルゴリズムによって動力を与えられます。高度なパターン認識機能と堅牢な検索エンジンを組み合わせることで、複雑な欠陥フィーチャーを正確に識別および分類することができます。また、EAIM+装置は、検査プロセスの指定、スケジューリング、および実行のための自動ワークフローエンジンを備えています。これにより、プロセスを自動化し、一貫性のある効率的な結果を保証することで、手動検査に伴う時間とコストを削減できます。ワークフローエンジンを使用すると、トレーサビリティとドキュメントを簡単に作成でき、検査プロセス全体の詳細な監査証跡を提供できます。モジュラープラットフォームを中心に構築されたこのシステムは、ユーザー定義のパラメータに基づいてさまざまな検査シナリオを実行することもできます。これにより、さまざまなスケールと複雑さのフォトマスキング用途に非常に適したオプションとなります。要するに、KLA/TENCOR EAIM+は、高品質で欠陥のないフォトマスクとベアシリコンウェーハの製造に向けたさまざまな機能と機能を提供する信頼性の高い汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査ユニットです。この機械はユーザーフレンドリー、有効、正確で、従って厳密で、精密な点検プロセスのための理想的な選択です。