中古 KLA / TENCOR DFIMS Handler for SP1 #9262063 を販売中
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ID: 9262063
KLA/TENCOR DFIMS Handler for SP1は、最新のマスクおよびウェーハ検査装置であり、今日の最先端の半導体材料およびプロセスに対する最も厳しい要件を満たすように設計されています。このシステムは、欠陥検出と予防の面で最大の性能レベルを達成するために設計された多くの技術で構成されています。自動化されたマスクおよびウェーハ検査、パーティクル検出、欠陥確認機能を提供します。KLA DFIMS Handler for SP1は、強力な画像処理技術と顕微鏡技術を使用して、マスクやウェーハの表面欠陥を検査します。深紫外線レーザーで強化された高度な光学ユニットを採用し、高解像度、大面積イメージング、パターンマッチング、欠陥解析、統計文書化を行っています。これらの方法を使用すると、高精度の欠陥ローカライズ機能により、マシンは非常に迅速かつ正確に欠陥を識別することができます。このツールはまた、独自のオートフォーカス機能を使用して、最適な焦点面で検査画像を撮影し、資産の検査能力を最大限に発揮します。これにより、最高の精度と最短の検査時間が保証されます。また、マスクまたはウェーハ表面の粒子やその他の小さな欠陥を正確に識別できる特殊なオートスレッショルド機能も搭載しています。画像処理機能に加えて、TENCOR DFIMS Handler for SP1には、高度な欠陥分類モデルが搭載されています。この装置は、リスクレベルに関して検出された欠陥のリアルタイム分類と優先順位付けを提供するために使用されます。これにより、検出された欠陥ごとに最も適切な解像度と応答を決定することができます。また、ユーザーの介入なしに検出された欠陥に対する最も適切な解像度を自動的に識別することにより、マスクおよびウェーハ検査プロセスを大幅に簡素化します。全体として、DFIMS Handler for SP1は、表面欠陥のマスクとウェーハを検査するための強力で高精度なソリューションを提供します。高度な画像処理技術と特殊な欠陥分類機能を組み合わせ、精度、信頼性、スピードを最大限に発揮します。そのため、マスクやウェーハの検査に信頼性が高く、費用対効果が高く、正確なソリューションを探している半導体デバイスメーカーには最適です。
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