中古 KLA / TENCOR CRS 3100 #9207492 を販売中
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ID: 9207492
ヴィンテージ: 2002
Review station
Power supply: 1 Phase, 24 A, 220 VAC, 60 Hz
Maximum ampere: 10000
Maximum load: 12
2002 vintage.
KLA/TENCOR CRS 3100マスク&ウェーハ検査装置は、半導体ウェーハのハイスループット生産ラインを検査および分析する高性能ソリューションを提供します。この自動検査システムは、高感度イメージング技術を使用して、ウェーハ表面の微小欠陥を極めて高精度で鮮明に識別します。さらに、KLA CRS 3100ユニットは、洗練されたインダイのレビューと分析により、ウエハディスク内に隠された絶縁されたマイクロ欠陥を検出することができます。TENCOR CRS 3100マシンの中心には、ウェーハディスクの高感度全反射イメージングを提供する特殊な光学アセンブリと、シーケンシャルキャプチャモードでウェーハ表面の複数の画像をキャプチャするCCDカメラがあります。CRS 3100ツールは、同様に高精度で精度の高いスライコンとガリウムヒ素ウェハディスクの両方をサポートすることができるため、検査可能なウェハタイプにも柔軟性があります。この製品には、解像度1。5ミクロンの高度な6軸ジンバル位置決めアセットも含まれており、光学ステージでのウェーハの高精度なアライメントを可能にします。KLA/TENCOR CRS 3100モデルは、ウェーハ上面の欠陥を検出するための光学フォルト検出（OFD）によるウェーハディスクの検査も可能です。このOFDモジュールは、独自の高度なセンシング技術を使用して、欠陥検出感度を最適化および改善し、微細な欠陥を検出します。さらに、電子顕微鏡技術を使用してウェーハ表面に損傷した層を電気化学的にエッチングし、さらに欠陥解析を行うAuto FE-SEMサンプリングシステムも搭載しています。最後に、KLA CRS 3100ユニットは、ウェハディスク検査プロセスのスループットを最大化するように設計されています。高度なユーザーインターフェイスを備えており、検査パラメータの設定と入力を容易にし、包括的でカスタム定義された検査レシピを提供します。さらに、このマシンは非常に低いダウンタイムを提供し、検査パラメータを迅速かつ効率的に調整し、最大の精度と速度に最適化することができます。これらの革新的な機能と高度な仕様により、TENCOR CRS 3100マスク&ウェーハ検査ツールは、先進的な半導体ウェーハ検査のトップソリューションの1つに位置付けられています。
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