中古 KLA / TENCOR CRS 3100 #132119 を販売中

KLA / TENCOR CRS 3100
ID: 132119
ウェーハサイズ: 12"
Review stations, 12".
KLA/TENCOR CRS 3100は、レチクルおよびフォトマスクの包括的で汎用性の高い検査を提供するウェーハおよびマスク検査装置です。このシステムは、生産およびエンジニアリング環境で使用するために設計されており、現在の重要なジョブ機能に必要な速度、光学的精度、再現性を提供します。KLA CRS 3100ユニットには、高度なLEDソースが装備されており、作業現場全体に均一な均一な照明を提供します。これにより、すべての生産設定で非常に高いマスクおよびウェーハ検査精度を実現します。光学機械は複数のビデオ記録および分析機能によって非常に高い空間分解能を提供する高度CMOSベースの検出器によってさらに補完されます。先進的な光学系と検出器により、あらゆる細部の検査が可能になり、欠陥検出の精度が高まります。このツールのハードウェアは、汎用性の高いソフトウェア機能によってさらに補完されています。内蔵のパターンおよび画像解析アルゴリズムは、高品質の欠陥検出と識別を提供し、パターン検査を容易かつ迅速にします。このアセットはまた、動的測定を提供し、フォトマスクの製造や堆積などの動的プロセスをリアルタイムで分析することができます。さらに、TENCOR CRS 3100モデルは、迅速な検査時間と最大のワークフロー効率のために、ウェーハとマスクの同時検査が可能です。利便性を高めるために、装置は最小限の労力で既存の生産環境に容易に統合されます。コア機能は直感的なグラフィックユーザーインターフェイスによって提供され、スタンドアロンPCによって提供される多機能光学検査機能を備えています。ユーザーフレンドリーな設計により、システムを使いやすく管理できます。要約すると、CRS 3100は、高度なマスクとウェーハ検査ユニットであり、合理化された設計で、強力な機能と機能のセットを提供します。生産およびエンジニアリング環境向けに設計されたKLA/TENCOR CRS 3100は、パターンと画像解析アルゴリズムを内蔵した非常に正確な画像を提供し、検査を迅速かつ簡単に行うことができます。これは、迅速な検査時間のための動的測定機能を提供し、既存の生産環境に容易に統合されます。KLA CRS 3100は、信頼性が高く、高速で正確なマスクおよびウェーハ検査機をお探しのお客様に理想的な選択肢です。
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