中古 KLA / TENCOR CRS 3000 #9137166 を販売中

KLA/TENCOR CRS 3000は、半導体製造時のリソグラフィおよびエッチングによる欠陥を検出するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。半導体マスクやウェーハを検査するために使用され、丸み、エッジプロファイル、その他の幾何学的パターンなどの特徴があります。最先端のハイエンド光学デバイスと技術、高度な光学、照明源、イメージングソフトウェアを使用しています。検査光学系は、高解像度の空中画像と一連の専用フォーカスレベルを組み合わせています。これにより、トーンの詳細、間隔、コントラストなどの欠陥フィーチャーを迅速かつ正確に評価できます。このユニットはまた、検査プロセスの速度と精度を向上させる巧妙な関節6軸ウェーハアライメントマシンを備えています。ツールのスキャナは、より詳細な検査を可能にするために興味のある機能をズームインすることができます。さらに、高速イメージプロセッサがアセットに組み込まれ、検査プロセスの速度と精度がさらに向上します。KLA CRS 3000は、最大100％の感度で、5ナノメートルのサイズの欠陥を検出できます。また、ウエハマップオーバーレイを搭載しているため、さらにレベルの高い欠陥検出が可能です。TENCOR CRS-3000の検査監視機能には、トラッキングレベルの制御と測定制限が含まれます。自動化の面では、装置は高度に自動化されており、さまざまなウェーハサイズで検査するように構成することができます。付属のソフトウェアパッケージを使用してシステムを操作することもできます。ユーザーインターフェイスはユーザーフレンドリーで直感的で、検査結果を迅速かつ正確に解釈できます。CRS-3000は、最高の精度とスピードを実現するために、最新の技術で設計された非常に効果的なマスクおよびウェーハ検査ユニットです。その統合された光学系および画像プロセッサは、業界で最も信頼性の高いツールの1つであり、半導体メーカーが欠陥を迅速かつ正確に特定して対処することを可能にします。