中古 KLA / TENCOR CRS 2000 #293615914 を販売中
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KLA/TENCOR CRS 2000は、高度なイメージング技術と優れた計測精度を提供するマスクおよびウェハ検査装置です。これにより、ユーザーは生産能力を拡張し、サプライチェーン全体で品質管理を向上させることができます。KLA CRS 2000は、マスクやウエハ基板の画像を収集する高性能レンズシステムです。このユニットは、2つの高い数値開口(NA)目標を備えており、解像度、焦点深度、被写界深度を向上させます。レンズマシンは、検出器のネイティブ解像度を最大25倍にすることができ、高解像度の検査ニーズに最適です。さらに、TENCOR CRS 2000は高速スキャンモードを備えており、ユーザーは毎秒最大15フレームで画像を素早くキャプチャできます。CRS 2000には、マスクとウェハ基板の両方をイメージングするための多種多様な検出器があります。これには、ワイドフィールドイメージング用のバックライト付きCCD、および微小欠陥の高解像度イメージング用のGaAsおよびSiC検出器が含まれます。高解像度検出器は、高効率、低ノイズ、高速露光時間のために設計されており、ユーザーに驚くべき画質と精度を提供します。KLA/TENCOR CRS 2000には、いくつかの強力な検査機能もあります。このツールは、最大0。2ミクロンのサイズの欠陥を検出し、最も小さな欠陥を検出することができます。また、特許取得済みのサーフェスフィーチャーアルゴリズムを備えており、0。02ミクロンのサイズのフィーチャーを迅速かつ正確に検出できます。さらに、このアセットには欠陥マップライブラリと強力な自動認識アルゴリズムが組み込まれており、複雑な欠陥特性評価と検査が容易になります。また、KLA CRS 2000は高精度のステージを備えており、ウェーハとマスク基板を正確に揃えてスキャンすることができます。このモデルには、線形ステージと回転ステージの両方が含まれているため、ユーザーは基板を正確に配置および方向付けすることができます。これにより、ユーザーはより効率的で正確で正確な検査を行うことができます。全体として、TENCOR CRS 2000は、優れた画像解像度と優れた計測精度を提供する高度なマスクおよびウェーハ検査装置で、さまざまな産業用途に対応しています。強力な検査機能を備えており、最小の欠陥を検出することができます。さらに、高精度な基板位置決めと向きを実現する高精度ステージを搭載しています。最終的に、CRS 2000は最先端の点検解決を必要とするあらゆるユーザーのための理想的な選択です。
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