中古 KLA / TENCOR CRS 2000 #293595655 を販売中

KLA/TENCOR CRS 2000は、あらゆる種類の欠陥を検出するように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。ブライトフィールドとダークフィールドの照明を4つの別々の角度で利用して機能し、ウェーハやマスクの全体の表面積を完全に表示します。システムは、それぞれの欠陥の画像を保存し、それぞれの欠陥の正確なサイズ、性質、および位置に関する詳細な情報を提供します。また、KLA CRS 2000は、検出された各欠陥の数とサイズに関する詳細なレポートを提供することができ、サンプル中の汚染物を検出することができます。TENCOR CRS 2000は、パラメータをカスタマイズする機能を備えたさまざまなタスク固有の表示モードを提供します。BrightfieldモードとDarkfieldモードがあり、両方のモードを使用してサーフェスの地形を検出できます。サブミクロン欠陥検出は、5000xまでの解像度にズームインすることができる特別なズームモードによって有効になります。CRS 2000はまた、粒子、汚染物質、およびエッジ欠陥の識別のための高度なアルゴリズムを備えています。さらに、自動スキャンと検査により、1時間以内に最大170個のウェーハを迅速にスキャンすることができます。ユーザーのために、KLA/TENCOR CRS 2000には、マシンを制御し、データを処理し、分析するための包括的なソフトウェアパッケージと、すべての機能にアクセスするためのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスが含まれています。このインターフェイスには、データロギング、レポート生成、アラーム設定、マスクエディタが含まれます。KLA CRS 2000は、他のKLAシステムとのデータ転送もサポートし、検査とレビューを容易にします。すべての結果は統計表で表示することも、標準ASCII形式でエクスポートすることもできます。このツールの高度なMultiTaskソフトウェアパッケージは、面積、密度、粗さ、傾斜検出などの高度な分析機能も提供します。作り付けのアルゴリズムはさまざまな基準に従って欠陥を分類し、グループ化するのに使用され、欠陥の位置の速く、正確な決定を可能にします。さらに、このソフトウェアは、統計要約やその他の詳細情報を含む包括的なレポートを生成することもできます。TENCOR CRS 2000は、ウェーハやマスクの詳細な測定が必要なアプリケーションに最適なツールです。あらゆるサイズと場所の欠陥や汚染物を正確に検出し、包括的なレポートおよび分析機能を提供します。使いやすいオペレータインターフェイスを備えたCRS 2000は、信頼性と費用対効果に優れたマスクおよびウェーハ検査資産です。