中古 KLA / TENCOR CRS 1010 #9392790 を販売中

KLA/TENCOR CRS 1010は、半導体ウェーハやフォトマスクの欠陥を検出できる「マスク&ウェーハ検査」装置です。先進的な光学系と画像処理システムを活用し、欠陥や材料のパターンを解析します。KLA CRS 1010は、多数の部品を使用して包括的な検査機能を提供する完全自動化ユニットです。主なコンポーネントは、光学イメージングマシン、モーションステージ、カメラ、コントローラです。このツールには、インスペクターのフロントエンドの人間工学的インターフェイスと、データを制御および分析するためのユーザーソフトウェアも含まれています。明るいフィールドと暗いフィールドの両方の画像をキャプチャするTENCOR CRS 1010の光学資産は、高倍率顕微鏡、高精度の電動リニアステージ、高解像度デジタルカメラで構成されています。この光学系は1。5ミクロン分解能を提供し、モデルは最小の欠陥を正確に検出することができます。モーションステージは、高いスキャン速度を可能にしながら、顕微鏡のピッチ、ロール、ヨーを制御し、3次元画像解析を提供します。CRS 1010の画像処理装置は、欠陥と材料の両方のパターンを解析し、信頼性の高い欠陥分類と定量化を提供することができます。コントローラは、カメラとステージを指示することができ、同時に、画像の収集と前処理、画像比較、およびテスト結果の保存を処理することができます。KLA/TENCOR CRS 1010のユーザーフレンドリーなソフトウェアは、データ分析と品質およびプロセス制御アプリケーションへのレポートの完全な自動化を可能にします。また、レシピ管理、実験の設計のための視覚補助、統計的プロセス制御などの組み込み情報も含まれています。KLA CRS 1010は、高い精度で欠陥を検出し、エンドユーザーがプロセス能力を最適化できる、信頼性の高い正確なマスクおよびウェハ検査ユニットです。信頼性の高い欠陥分類と定量化により、欠陥検出に関連するコストを大幅に削減し、レポートと分析のための包括的なトレーサビリティを提供します。