中古 KLA / TENCOR CRS 1010 #9298930 を販売中

KLA/TENCOR CRS 1010は、測定および検査システムのリーディングサプライヤーであるKLAのマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高解像度イメージングとインテリジェント計測の高度な機能を利用して、ユーザーに包括的で正確な検査とマスク評価を提供します。KLA CRS 1010は、大量生産環境の要求に応えるように設計されており、シングルレベルのマスクからマルチレベルのリバーストーンマスクまで、ほとんどのウェーハを取り扱うことができます。TENCOR CRS 1010の中心には、高解像度イメージングユニットがあります。マスクとウェーハの画像を最大1.25µmの解像度で様々な角度でキャプチャし、検査結果の精度を確保します。CRS 1010は、特許取得済みのEビームおよびX線画像技術を使用して、マスクおよびウェーハ内の機能の存在、不在、レイアウトを正確に測定します。このツールは、透過光または自動透過イメージング技術を使用して、パターンレイアウトのバリエーションを検査することもできます。KLA/TENCOR CRS 1010には、高度な計測機能も搭載されており、設計レイアウトの20％以上までの機能の幅と長さを測定できます。アセットは、マスクとウェーハの両方にピンホール、ピット、傷の存在を検出し、ソースコードの読み出しに欠陥を特定してマークすることができます。KLA CRS 1010は、シングルレベルおよびマルチレベルマスクとウェーハの両方を精度と速度で処理するように設計されています。このモデルは、同時に32層のマスクを尋問することができ、大量の生産要件に最適なソリューションです。高度なイメージングおよび計測機能に加えて、TENCOR CRS 1010は、直感的なユーザーインターフェイスと、データおよび情報管理を容易にする多数の機能をユーザーに提供します。この機器により、ユーザーは直感的なインターフェイスで情報を保存、表示、分析することができます。また、詳細なレポートを生成することができ、マスクのデザインやリビジョンの有効性を分析するために使用することができます。さらに、このユニットは、データ共有と結果の分析を容易にするための外部システムの統合を可能にします。CRS 1010はTENCORによって大量生産環境の厳しい要件を満たすために開発された強力なマスクおよびウェーハ検査機です。このツールは、検査プロセスの精度と速度を保証する高度なイメージングおよび計測機能をユーザーに提供します。さらに、直感的なインターフェイスと機能により、情報の保存、表示、分析が容易になり、マスクやウェーハの評価ニーズに最適なソリューションとなります。