中古 KLA / TENCOR CRS 1010 #9140524 を販売中

KLA/TENCOR CRS 1010は、半導体ウェーハおよびマスクの自動検査を行うように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、リソグラフィ変位、ブリッジ、ラインエッジの粗さ、マイクロブリッジ、ピンホール、および自然欠陥など、マスクとウェーハの両方に幅広い欠陥を検出することができます。本機は、380〜750 nmの可視範囲を拡張した本格的な分光計を搭載し、最小の欠陥でも検査が可能です。また、センシティブなバックライトイメージングツールも備えており、高い信号対ノイズ比で欠陥特性を評価することができます。KLA CRS 1010には、真空チャンバー内で行われるウェーハのローディング、アンロード、ハンドリング用の統合ウェーハハンドラも装備されています。これにより、ウェーハの正確な配置が可能となり、クリーンルーム環境による汚染を防ぎます。TENCOR CRS 1010は、長さ8 mm、幅16 mmまでの広い視野での欠陥検査を可能にする高解像度の光学アセットも付属しています。これにより、最小の欠陥も検出できます。また、CRS 1010はマスクやウェーハの並列検査が可能で、検査時間を大幅に短縮します。このモデルは、1回の実行で最大4つのウェーハまたはマスクを検査することができます。さらに、KLA/TENCOR CRS 1010は、自動欠陥検出、識別、分類機能などの拡張画像処理機能を備えています。これにより、マスクまたはウェーハ上の欠陥を迅速かつ正確に識別および分類することができます。最後に、KLA CRS 1010は使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを介して動作するように設計されています。これにより、システムのセットアップ、操作、メンテナンスが容易になり、すべてのユーザーがその機能を最大限に活用できるようになります。TENCOR CRS 1010は、高精度な結果を得ることができる信頼性の高い強力なマスクおよびウェーハ検査ユニットです。