中古 KLA / TENCOR Candela CS20R #9276235 を販売中
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ID: 9276235
ウェーハサイズ: 2"-8"
ヴィンテージ: 2012
Surface measurement system, 2"-8"
Chucks included
2012 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS20Rは、重要な薄膜および構造計測アプリケーション向けに設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。KLAシグネチャーナノメーターフォーカスイオンビーム（NFIB）技術を搭載し、サブ10nm体制で迅速かつ再現性のある正確な測定を提供します。これにより、このシステムは、特に半導体、光学、およびディスプレイ部品を展示するための品質管理および品質保証の目的に理想的です。CS20Rは完全に自動化された設計を備えているため、計測の初心者でも効率的でユーザーフレンドリーです。大型のデュアルワイドサンプルチャンバーを備えており、直径12インチまでのデバイスにフィットし、最大2段階を同時に制御して検査を高速化できます。これは、最大80mmの視野（FOV）を備えており、360°の完全な検査に最適です。さらに、最大1000xの倍率とダイナミックなフルフィールドイメージステッチを可能にする特許取得済みのラインスキャン機能も備えています。KLA CANDELA CS 20Rには、特許取得済みのAutoDefect Inspection （ADI）ソフトウェアが搭載されており、汚れ、ピンホール、スリップ、異常などのさまざまな欠陥を検出できます。ソフトウェアはまた、自動サンプリング機能を備えているので、機械は手動で介入することなく、デバイス全体をサンプリングして検査することができます。レポート側では、TENCOR CANDELA CS-20 Rは、測定結果、デバイスの種類、サイズ、条件など、すべての重要なデータポイントを含む詳細なレポートを自動的に生成できます。これにより、同じデータを複数回見直す必要なく、迅速に欠陥を特定することができます。このツールには品質保証機能も内蔵されているため、サンプルの受け入れは迅速かつ効率的です。要するに、KLA Candela CS20Rは、高精度の計測アプリケーション用に設計された包括的なマスクおよびウェーハ検査資産です。堅牢な設計、直感的なユーザーインターフェース、強力なNFIBテクノロジーを備えており、ナノメートルレベルまでの迅速で再現性のある正確な測定を可能にします。半導体、光学、ディスプレイ用途に最適で、高度な欠陥検出ソフトウェアと品質保証機能を備えています。
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