中古 KLA / TENCOR Candela CS20R #9148287 を販売中

ID: 9148287
ウェーハサイズ: 2"-8"
Surface measurement system, 2"-8" Stains: 20um Dia, 10Å Thickness Parameters: Ra, Rq, Wa, Wq Film thickness uniformity: 5Å <Thermal oxide <1000Å Repeatability: CV ≤ 5.0% Illumination sources: 50 mW Laser 405 nm Wavelength Operator interface: Trackball Keyboard Power: 220 V, 60 Hz, 1 kW Air pressure: 95~110 PSI Air flow rate : 2 CFM 1/4" OD, 3/16” ID Includes: Polyurethane tube.
KLA/TENCOR Candela CS20Rは、単層および多層フォトマスクおよびウェーハの両方の欠陥を確実に検出するように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムの独自の3Dイメージング技術は、超高速光学と最大45µm分解能を備えており、最小の欠陥でも高精度に検出できます。CS20Rの中心には、特許取得済みの5メガピクセルCCD検査センサーがあります。このセンサーは、可視光と赤外線の照明を組み合わせたデュアルライトユニットを備えており、コントラストを強化し、より良い欠陥検出を可能にします。また、従来システムの45倍以上の広い視野を備えており、複数回スキャンする必要のない大面積検査が可能です。CS20Rはまた、ツールの操作を簡単かつ直感的にするユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスを備えています。包括的なパターン認識および解析ツールを備えており、ユーザーは単層および多層の両方の標本を迅速かつ正確にスキャンできます。このCS20Rは、欠陥分類、検証、レビューなど、特定のタスクのために複数のソフトウェアカーネルと統合されています。技術的に高度な機能に加えて、CS20Rは強力で信頼性の高いプラットフォーム上に構築されており、忙しい生産環境での非常に信頼性の高い運用とメンテナンスを可能にします。これは継続的な運用のために設計されており、ダウンタイムがほとんどなく、さまざまなハードウェアとソフトウェアオプションでアセットをアップグレードできます。全体として、KLA CANDELA CS 20Rは、マスクおよびウェーハ検査用の非常に強力で信頼性の高いモデルです。デュアルライトシステムを備えた装置の独自の3Dイメージング技術により、最小の欠陥も検出できます。このユニットはまた、堅牢なプラットフォーム上に構築されており、忙しい生産環境での信頼性の高い動作を可能にし、機械の操作を簡単かつ直感的にするさまざまな自動パターン認識および分析ツールが付属しています。
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