中古 KLA / TENCOR Candela CS20R #293609511 を販売中

KLA / TENCOR Candela CS20R
ID: 293609511
Surface measurement system.
KLA/TENCOR Candela CS20Rは、真空環境で動作し、ウェーハやマスクの自動特性評価および欠陥解析に使用されるマスクおよびウェーハ検査システムです。このCS20Rは300mmステージを備えており、高精度なサンプルアライメント、パターニング、およびトップビューと断面の両方の画像の測定を可能にします。その統合されたフィルターは、イメージングの忠実度を高め、広い波長範囲で横方向のイメージングを可能にします。CS20Rは、ブライトフィールドとダークフィールドの両方の画像技術を使用して、マスクまたはウェーハ表面の全方向反射率をキャプチャします。データは蛍光相関分光法(FCS)を介して取得され、マスクやウェーハ上の傷やエッチングパターンなどの潜在的な欠陥を検出します。システムのマルチビームLensEngineは、上下両方の画像からデータを取得します。広い視野でのコントラスト、調性、パターン認識に最適化されています。CS20Rには、高度なデータ収集および分析ソフトウェアも装備されています。これは、ユーザーの介入を最小限に抑えて、短時間で大量のデータを分析することができます。分析によって生成された統計を使用して意思決定を行い、結果をフィードバックすることができます。CS20Rは密閉されたエンクロージャに収容されるように設計されています。これにより、環境制御を改善し、収集されたデータの精度に影響を与える可能性のあるほこり、汚れ、その他の要素からの干渉を最小限に抑えることができます。このCS20Rは信頼性と効率性の両方を兼ね備えています。マスクやウェーハの不具合や不具合をすばやく検出し、正確な意思決定に必要なデータをユーザーに提供します。KLA CANDELA CS 20Rは、高度なイメージング技術とソフトウェア機能を備え、信頼性とコスト効率に優れたマスク&ウェーハ検査システムです。
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