中古 KLA / TENCOR Candela CS20R #293605955 を販売中

ID: 293605955
ヴィンテージ: 2011
Surface measurement system 2011 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS20Rは、フォトマスク、ICレイアウト、およびICリソグラフィの欠陥を正確に測定および検出するために設計されたマスク&ウェーハ検査装置です。このシステムは2048 x 2048ピクセル検出器を備えており、現在利用可能なすべての修復解像度マスクおよびウェハ検査ユニットに最高の解像度を提供します。また、多軸スキャンステージを備えており、迅速な検査とアライメント機能、および正確な測定を保証するための高輝度ランプヘッドを備えています。このマシンには、遅延時間や画像最適化など、さまざまな高度なプロセスコントロールが装備されています。KLA CANDELA CS 20Rは、高度な光学およびパターン認識アルゴリズムを使用して、マスクの改訂、検査、ウェーハの特性評価を行います。このツールは、新たに設計された金属酸化物半導体(MOS)フォワードビューカメラとリアビュー(方法)カメラを備えています。アセットタスクはサブピクセル分解能でウェーハをパターン化し、金属酸化物半導体(MOS)フォワードビューカメラはウェーハを整列させるために使用され、リアビューウェーカメラはウェーハの正確な測定を提供します。また、ソフトウェアツールと独自のアルゴリズムを備えており、ウェーハ上で観察する前に設計上の欠陥を検出することができます。さらに、装置は自動欠陥認識および分類プロセスの使用をサポートしています。TENCOR CANDELA CS-20 Rには、マスクの改修とリソグラフィ作業に有益ないくつかの機能があります。その画像最適化機能はレチクルの正確な着色を保証し、遅延とオーバーラップスキャン機能によりパッチの効果的な位置決めとスキャンを保証します。その高速な検査速度は、現在利用可能なマスクおよびウェーハ検査のための最速かつ最高の解像度を提供します。このシステムはWindowsおよびUNIXシステムとも互換性があり、インストールと使用が簡単です。TENCOR CANDELA CS 20 Rは、フォトマスク、ICレイアウト、およびICリソグラフィのお客様に次世代の結果を提供する信頼性の高い効果的なマスク&ウェハ検査ユニットです。欠陥の迅速な検査と分類を提供するように設計されていますが、高度なプロセス制御と組み込みの是正アクションの配列は、IC製造に関与するプロセスにとって有益です。この機械は安定しており、経済的であり、マスキングおよびフォトリソグラフィ検査に手頃な価格のソリューションを提供します。
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