中古 KLA / TENCOR Candela CS20 #9262810 を販売中

ID: 9262810
Surface measurement system.
KLA/TENCOR Candela CS20は、マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、最新のKLAソフトウェアとハードウェアの強みを組み合わせ、科学に裏打ちされた精度、精度、信頼性を提供します。このユニットには、ハイスループット、ハイスループット、短波長のCCDカメラが組み込まれており、ウェーハとマスクのすべての機能を1台の自動化された使いやすいマシンでキャプチャできます。また、CS20は業界をリードする自動欠陥分類ツールを備えており、リアルタイムで結果を提供します。KLA CANDELA CS-20は、ナノメートルスケール構造物の検査および計測を可能にする業界トップクラスのスキャンおよび検査資産です。ハイスループットCCDカメラ、自動欠陥分類(ADC)モデル、高解像度顕微鏡、プリスキャンツールおよびポストスキャンツール、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)が含まれています。この装置は、ウエハーとマスクの検査と分析のための完全なソリューションを提供します。TENCOR CANDELA CS 20のCCDカメラは、短波長赤外線および可視画像技術を使用して、地下および表面層の欠陥を正確に識別、測定、分類します。カメラは解像度を判別できるため、機能の規模に関係なく精度が保証されます。このシステムは、自動欠陥分類(ADC)ユニットも備えており、リアルタイムで欠陥を即座に検出および分類します。すべての結果および検査パラメータは、不揮発性メモリの場所に自動的に保存され、数回のクリックで要約レポートを迅速に生成できます。CANDELA CS-20はまた、1ミクロン以下の特徴を検査するために高度な顕微鏡を内蔵しています。この機械は高度の照明および光学装置を正確に焦点を合わせ、特徴の高度の視覚化を提供するのに使用します。このツールは、ジッタのプロファイル、粒子特性評価、および背景放射線のチェック機能を備えた、さまざまなオプションのアップグレードで提供されます。このアセットは、さまざまなサイズと構成のさまざまなウェーハやマスクの検査を可能にします。KLA/TENCOR CANDELA CS 20には、直感的なGUIとプリポストスキャンツールが含まれており、人間の目の画像解析と欠陥分類を簡単に行うことができます。このモデルによって生成された結果は、独自のクロスプラットフォームフレンドリーな形式であり、さらに使用するために他のプログラムにエクスポートすることができます。GUIはまた、マスクパターン検証とアライメントのための3D特性評価ソフトウェアと統合されており、重要なプロセス制御データに簡単にアクセスできます。全体として、Candela CS20は業界をリードするマスクおよびウェーハ検査および計測機器であり、少ない高度なシステムよりも決定的な利点を提供します。CS20は、スピード、精度、汎用性を兼ね備えているため、高品質な結果を迅速かつ効率的に提供することができ、幅広い機能により、研究および産業用途に最適です。
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