中古 KLA / TENCOR Candela CS20 #293794286 を販売中

KLA/TENCOR Candela CS20は、迅速な欠陥検査を容易にするように設計された包括的なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムには、ハイスループットのために設計された広い視野が装備されており、1時間あたり最大1000個のウェーハが搭載されています。その高リゾリューション10。5 μ mのピクセルピッチ検出器は最高の点検適用範囲および正確さを保障します。KLA CANDELA CS-20は、正確で信頼性の高い欠陥検出とパターンオーバーレイ測定を提供します。この装置の高精度測定機は、表面マッピング技術により、パターン化されたデバイスの地形を正確に測定することができます。最先端の多層アライメント制御により、ステージの位置を調整し、正確なオーバーレイ測定を実現します。TENCOR CANDELA CS 20は、重要なファブプロセスに非常に効率的なオートメーションを提供します。これは、単一の金型または複数の金型検査ジョブを迅速にセットアップするための自動マルチダイヤアライメントツールを誇っています。アセットのインストゥルメントレベルの自動化は、サイクル時間を短縮し、一貫性のある再現性のある結果を保証するのに役立ちます。視覚欠陥分類（VDC）により、複雑で断続的に発生し、検出しにくい欠陥を正確かつ迅速に特定できます。モデルは生産環境のために維持し、カスタマイズすること容易です。直感的なユーザーインターフェイスには、簡単なセットアップ、データ管理、およびフィールドサービスのための強力なWindowsベースのソフトウェアが含まれています。リアルタイムの障害検出装置は、ハードウェアまたは接続の問題が発生したときにオペレータに直ちに警告します。KLA/TENCOR CANDELA CS-20は、最適な信頼性と精度を確保するために、光検査機能と品質保証措置の完全なスイートを備えています。低kV検査により、正確な欠陥検出と酸化分離が保証されます。Wiener deconvolution imagingは、高品質の画像を維持しながら、より高いウェーハスループットを使用して欠陥検出を増加させることができます。革新的な180度リバースアングルイメージングは、明るいフィールドのイメージングを強化し、見つけにくい欠陥検出を改善します。さらに、Candela CS20は、自動化されたデバイス、導波管、および構造測定機能からなる業界をリードする計測スイートをサポートしています。長波長の検査モードにより、システムは最深層のデバイスを自動的に識別します。CANDELA CS-20は、信頼性の高い高度なマスクおよびウエハ検査ユニットで、信頼性と効率的なパターン認識とオーバーレイを実行します。その高度に自動化されたマシンは、優れた性能を提供し、さまざまなアプリケーションに対応します。