中古 KLA / TENCOR Candela CS20 #293607165 を販売中

KLA/TENCOR Candela CS20は、最大200mmの半導体ウェーハを検査できる最先端のマスク&ウェーハ検査装置です。このシステムは、HDR-3000のハイブリッドパターン認識技術を使用して、自動欠陥およびマスク登録を行い、優れた感度と精度を提供します。このユニットの高度な光学設計には、6つのUVおよび可視チャネルが含まれており、マスクまたはウェーハ上の複数のタイプの機能（フルフィールドオブビュー、ラインエッジ、グレーティングオブジェクトなど）を検査することができます。さらに、KLA CANDELA CS-20は、超高スループット機能と10年未満の製品寿命で、レチクルやフォトマスクなどのさまざまな材料検査をサポートするように設計されています。機械には、明るいフィールド、斜めの角度の暗いフィールド、明るい暗いフィールド、偏光の暗いフィールド、および斜めの角度の明るいフィールドを含む最先端の照明システムとハードウェアコンポーネントが装備されています。高度な光学ツールは、最大1000倍の機能を拡大することができる4つのOn-The-Fly （OTF）カメラが装備されており、ウェーハやマスクの最小欠陥を検出することができます。TENCOR CANDELA CS 20には、パターン配置のためのプリントリジェクトとX/Y翻訳エラーを識別できる自動欠陥レビュー（ADR）アセットが追加され、ウェーハ検査に自動レチクルを提供します。さらに、Auto-Alignを含む画像解析ソフトウェアを搭載し、アライメント精度とImcoverを確保して金属および非金属機能の欠陥のカバレッジマップを提供します。このCS20は、ウェーハおよびマスク検査に最適であり、欠陥レベルを最大40％削減する可能性があります。不具合を迅速に特定、分類、マッピングし、迅速な解像度を実現し、誤報を低減します。さらに、このモデルは信頼性が高く、業界最高の競合他社に匹敵する高スループット歩留まりと欠陥数を備えています。優れた性能に加えて、KLA CANDELA CS 20は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたユーザーフレンドリーな設計となっており、ウェーハやマスクの欠陥を検査、分析、修復する簡単な方法をユーザーに提供します。全体として、KLA/TENCOR CANDELA CS-20は、マスクおよびウェーハ検査用の高性能で信頼性の高い機器です。高度な光学設計と自動化されたシステムにより、正確で高感度の検査が可能であり、最高の歩留まりと生産スループットを実現するための欠陥のタイムリーな修復を可能にします。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、使いやすく、最も複雑な検査作業でもコストと時間を削減できます。