中古 KLA / TENCOR Candela 7100 #293798768 を販売中

KLA/TENCOR Candela 7100は、複雑なマスクおよびウェーハ設計の画像透明性と精度を向上させるために設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。これは、独自の多層マイクロ苛性イメージング技術と、高速で正確なサブミクロン光学技術を組み合わせています。KLA Candela 7100システムのベースは、表面欠陥を抑えながら優れた画像解像度を実現する多層イメージング技術です。このユニットには、2つの独立した多層カメラが含まれており、マスク/ウエハの両側を同時に細部まで検査することができます。カメラはまた、最適な画像性能のための高度なフォーカシングのための高度な光学を統合します。高度なアルゴリズムは、マシン内のカメラによってキャプチャされた画像データを分析するために使用されます。TENCOR Candela 7100で使用されるアルゴリズムは、欠陥を検出し、それらを評価し、受け入れられない、潜在的に許容される、または許容されると分類するように設計されています。これにより、注意が必要な問題を迅速に特定することが容易になります。このツールには、画像の明瞭さを向上させるためのさまざまな画像処理ツールが含まれています。自動化された画像登録機能により、マスクとウェーハをさまざまなレベルの精度と詳細と相関させることができます。さらに、Candela 7100の画像処理ツールは、ピクセル単位で画像の自動解析をサポートします。これは、小さな粒子や歪みなど、容易には見えない問題を特定するのに役立ちます。KLA/TENCOR Candela 7100は、最大4,000 μ m x 4,000 μ mの最大パターンサイズで、マスクとウェーハの両方を検査できます。単焦点平面および多焦点平面イメージング用のx、 y、 θのステージモーションを提供します。また、クロップ、回転、シフトなどの視野と機能の拡大をサポートし、イメージングの解像度を向上させます。このアセットは、最大500 um/s以上の速度でマスクとウェーハを検査するように設計されています。要約すると、KLA Candela 7100は、高解像度のイメージングと正確なサブミクロン光学を提供する高度なマスクおよびウェーハ検査モデルです。この装置には、複数の画像処理ツールと、欠陥検出、分析、分類のためのカスタマイズ可能なアルゴリズムが含まれています。イメージング解像度と画像登録機能を強化し、高速で信頼性の高い検査サービスを提供します。